सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड

एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोडआमतौर पर नक़्क़ाशी कक्ष के शीर्ष पर स्थापित होते हैं, जो ऊपरी इलेक्ट्रोड के रूप में कार्य करते हैं। एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड की सतह में समान रूप से वितरित माइक्रोहोल होते हैं, जो प्रतिक्रिया कक्ष में समान रूप से नक़्क़ाशी गैस पहुंचा सकते हैं। नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान, वे एक समान विद्युत क्षेत्र उत्पन्न करने के लिए निचले इलेक्ट्रोड के साथ काम करते हैं, जो सटीक नक़्क़ाशी के लिए एक आदर्श परिचालन स्थिति प्रदान करने में योगदान देता है।

सावधानीपूर्वक सामग्री का चयन

सेमीकोरेक्स सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड के निर्माण के लिए प्रीमियम एमसीजेड-विकसित मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन का चयन करता है, जो उद्योग-अग्रणी उत्पाद प्रदर्शन और गुणवत्ता की पेशकश करता है।

1. अति उच्च शुद्धता

सेमीकोरेक्स सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड में 99.9999999% से अधिक की अति-उच्च शुद्धता होती है, जिसका अर्थ है कि आंतरिक धातु अशुद्धियों की सामग्री बेहद कम है।

2. असाधारण प्रतिरोध एकरूपता

पारंपरिक सीजेड सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन से अलग, सेमीकोरेक्स द्वारा उपयोग किया जाने वाला एमसीजेड-विकसित मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन 5% से नीचे प्रतिरोधकता एकरूपता प्राप्त करता है। यह निम्न रेस है. 0.02 Ω·सेमी, मध्य रेस से नीचे नियंत्रित किया जाता है। 0.2 और 25Ω·सेमी के बीच है, और उच्च रेजोल्यूशन है। 70-90 Ω·सेमी के बीच है (अनुरोध पर अनुकूलन उपलब्ध है)।

3. उत्कृष्ट सामग्री संरचना

एमसीजेड विधि के माध्यम से विकसित एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन अधिक स्थिर संरचना और कम दोष प्रदान करता है, जिससे सेमीकोरेक्स एकल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड उल्लेखनीय प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करते हैं और कठोर नक़्क़ाशी परिचालन स्थितियों का सामना करते हैं।

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उच्च-मानक प्रसंस्करण परिशुद्धता

सेमीकोरेक्सएकल-क्रिस्टल सिलिकॉनइलेक्ट्रोड का निर्माण सिलिकॉन पिंड से लेकर तैयार उत्पाद तक पूरी उत्पादन प्रक्रिया के माध्यम से किया जाता है, जिसमें स्लाइसिंग, सतह पीसना, छेद ड्रिलिंग, गीली नक़्क़ाशी और सतह पॉलिशिंग शामिल है। सेमीकोरेक्स यह सुनिश्चित करने के लिए प्रत्येक चरण में कड़े परिशुद्धता नियंत्रण को कायम रखता है कि व्यास, मोटाई, सतह समतलता, छिद्र रिक्ति और इलेक्ट्रोड के एपर्चर को आदर्श सहनशीलता के भीतर बनाए रखा जाता है।

1. माइक्रोहोल प्रसंस्करण

सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड पर सूक्ष्म छिद्रों में चिकनी और गड़गड़ाहट मुक्त आंतरिक दीवारों के साथ समान दूरी और सुसंगत व्यास (0.2 से 0.8 मिमी तक) होते हैं। यह प्रभावी रूप से नक़्क़ाशी गैस की एक समान और स्थिर आपूर्ति की गारंटी देता है, इस प्रकार वेफर नक़्क़ाशी की एकरूपता और सटीकता सुनिश्चित करता है।

2. प्रसंस्करण सटीकता

सेमीकोरेक्स सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन इलेक्ट्रोड की प्रसंस्करण सटीकता 0.3 मिमी के भीतर नियंत्रित की जाती है, और उनकी पॉलिशिंग परिशुद्धता को 0.1 µm से नीचे सख्ती से नियंत्रित किया जा सकता है, और बारीक पीसने की सटीकता 1.6 µm से कम है।