सिलिकॉन वेफर नाव

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन वेफर नाव संरचना को अनुकूलित कर सकता है, जिसमें ग्रूव रॉड आकार, ग्रूव दांत की लंबाई, आकार, झुकाव कोण और कुल वेफर लोडिंग क्षमता शामिल है, और ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार उत्पादित किया जा सकता है। उच्च तापमान वाली सिलिकॉन नावें प्रभावी ढंग से सिलिकॉन वेफर्स के संपर्क क्षति को कम कर सकती हैं और प्रक्रिया उपज में सुधार कर सकती हैं। इसका उच्च-तापमान "स्लिप-फ्री टावर्स" डिज़ाइन केवल सहायक दांत की नोक पर वेफर्स का समर्थन करता है। की तुलना मेंसिलिकन कार्बाइड, सिलिकॉन में अपेक्षाकृत कम कठोरता होती है, जो वेफर्स को यांत्रिक क्षति को कम करती है, जिससे जाली पास दर में सुधार होता है और उत्पादन लागत प्रभावी ढंग से कम हो जाती है। फ़्यूज्ड सिलिकॉन नाव कई हिस्सों से बनी होती है: दांत, बेस प्लेट और शीर्ष प्लेट, जो एक साथ जुड़े हुए हैं। इससे उत्पादन लागत कम हो जाती है। आंशिक क्षति की स्थिति में, पूरी सिलिकॉन नाव को बदले बिना क्षतिग्रस्त हिस्सों को बदला जा सकता है, जिससे उपयोग के दौरान स्वामित्व लागत में काफी कमी आती है। इसके अलावा, सिलिकॉन नाव में पॉलीसिलिकॉन जमाव के लिए एक बड़ी ऊपरी सीमा होती है, जो प्रभावी रूप से पीएम उपकरण की आवृत्ति को कम कर सकती है और उत्पादन क्षमता में सुधार कर सकती है।

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन वेफर बोट एक अभिनव, उद्देश्य से डिजाइन किया गया, वेफर कैरियर है। यह विशेष रूप से अर्धचालक उद्योग में उपयोग किए जाने वाले उच्च तापमान भट्ठी प्रसंस्करण के लिए बनाया गया है, जिसमें 1200 और 1250 डिग्री सेल्सियस के बीच तापमान पर ऑक्सीकरण और कटौती प्रक्रियाएं शामिल हैं। सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्री में उपलब्ध प्रदर्शन लाभों की विशेषता के साथ, सिलिकॉन वेफर बोट सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए आवश्यक कठोर प्रक्रियाओं से संबंधित लाभ प्रदान करता है। सबसे पहले, सिलिकॉन सामग्री की अति-उच्च शुद्धता महत्वपूर्ण है; वास्तव में,सिलिकॉन सामग्री9एन (99.9999999%) से अधिक के अति-उच्च-शुद्धता स्तर को प्राप्त करता है, इस प्रकार यह सुनिश्चित करता है कि कोई भी धातु या विदेशी अशुद्धियाँ वेफर प्रसंस्करण को दूषित नहीं करेंगी। यह अग्रणी सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माण के लिए महत्वपूर्ण है जहां प्रदर्शन विश्वसनीयता और उपज संदूषण से भारी प्रभावित होती है। सिलिकॉन वेफर बोट ऑक्सीकरण और कमी प्रसंस्करण के लिए बहुत उच्च तापमान के संपर्क में आने वाले वेफर्स की हैंडलिंग के लिए सबसे उन्नत उद्योग आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त उच्च स्तर की शुद्धता के साथ एक अति-स्वच्छ वातावरण प्रदान करता है।

का एक और फायदासिलिकॉन सामग्रीSiC सामग्री की तुलना में इसकी कठोरता कम है। SiC बार या नावें कठोरता और मजबूती के लिए जानी जाती हैं, लेकिन यही संपत्ति वेफर प्रसंस्करण के दौरान कठिनाइयों का कारण बन सकती है। उच्च तापमान पर, वेफर्स सूक्ष्म गति करेंगे; नाव के अंदर रहते हुए वे थोड़ा उछलेंगे, थोड़ा हिलेंगे, और किनारे मुड़ेंगे। एक कठोर, SiC सामग्री वेफर के पीछे कण या खरोंच उत्पन्न करने का उच्च जोखिम पैदा कर सकती है क्योंकि वेफर और नाव के गुण इन उच्च तापमान प्रसंस्करण स्थितियों के तहत परस्पर क्रिया करते हैं।

सिलिकॉन वेफर बोट SiC के संबंध में सिलिकॉन के अपेक्षाकृत नरम चरित्र का लाभ उठाकर इस चिंता को कम करता है। जब थर्मल चक्र के दौरान वेफर्स नाव से संपर्क करते हैं तो कठोरता में कमी कम घर्षण और यांत्रिक तनाव दोनों की अनुमति देती है। परिणामस्वरूप, कण कम उत्पन्न होते हैं और पीठ पर खरोंच का जोखिम लगभग शून्य हो जाता है। इसके अलावा, सतह के दोषों को कम करके, सिलिकॉन वेफर नाव सीधे जाली की गुणवत्ता में सुधार करती है और संसाधित वेफर्स की समग्र योग्यता दर को बढ़ाती है। अधिकतम गुणवत्ता नियंत्रण के साथ पैदावार में सुधार करने की चाहत रखने वाले सेमीकंडक्टर फैब के लिए, प्रदर्शन की यह स्थिति सिलिकॉन नाव को एक आकर्षक विकल्प बनाती है।

सिलिकॉन उच्च तापमान पर अच्छी स्थिरता और यांत्रिक शक्ति प्रदान करता है, जिससे नाव को बार-बार भट्ठी चक्र के दौरान विश्वसनीय रूप से सेवा करने की अनुमति मिलती है। सामग्री हीटिंग और शीतलन चक्रों के दौरान विकृति का प्रतिरोध करती है, और इस प्रकार, तीव्र भट्ठी चक्रों के दौरान भी सटीक वेफर प्लेसमेंट और स्थिति सहनशीलता बनाए रखती है। यह थर्मल मजबूती भरोसेमंद प्रक्रिया परिणाम प्रदान करती है जो रनों के बीच न्यूनतम अंतर के साथ उच्च मात्रा में उत्पादन के लिए पर्याप्त सुसंगत होती है। लगातार वेफर स्थिति और प्लेसमेंट सुनिश्चित करने के लिए सिलिकॉन वेफर नाव का निर्माण उच्च आयामी परिशुद्धता के साथ किया गया है। नाव को चिकनी सतह, करीबी ज्यामिति और सख्त सहनशीलता बनाने के लिए उन्नत मशीनिंग और पॉलिशिंग का उपयोग करके बनाया गया है।