गैस इनलेट रिंग्स का उपयोग वेफर किनारे और परिधि को कवर करने के लिए किया जाता है, स्वच्छ, निष्क्रिय और संरक्षित वातावरण बनाने के लिए महत्वपूर्ण कक्ष घटकों की रक्षा करता है और निक्षेपण कक्षों में उनके उपयोगी जीवन का विस्तार करता है, इसलिए वे निक्षेपण या वेफर प्रसंस्करण के दौरान प्लाज्मा और उच्च तापमान के संपर्क में आते हैं। , इतना मजबूत प्लाज्मा स्थायित्व और उच्च शुद्धता अंतिम वेफर उपज के लिए महत्वपूर्ण हैं।
सेमीकोरेक्स सीवीडी सीआईसी कोटेड रिंग्स को विशेष रूप से इन मांग वाले एपिटाक्सी उपकरण अनुप्रयोगों के लिए इंजीनियर किया गया है।
सेमीकोरेक्स चीन में सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। हमारे MOCVD इनलेट सील रिंग की कीमत अच्छी है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करती है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।
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