गैस इनलेट रिंगों का उपयोग वेफर किनारे और परिधि को कवर करने, स्वच्छ, निष्क्रिय और संरक्षित वातावरण बनाने के लिए महत्वपूर्ण कक्ष घटकों की रक्षा करने और जमाव कक्षों में उनके उपयोगी जीवन को बढ़ाने के लिए किया जाता है, ताकि वे जमाव या वेफर प्रसंस्करण के दौरान प्लाज्मा और उच्च तापमान के संपर्क में आ सकें। , इसलिए मजबूत प्लाज्मा स्थायित्व और उच्च शुद्धता अंतिम वेफर उपज के लिए महत्वपूर्ण हैं।
सेमीकोरेक्स सीवीडी सीआईसी लेपित रिंग विशेष रूप से इन मांग वाले एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगों के लिए इंजीनियर की गई हैं।