अंतिम प्रभावक रोबोट का हाथ है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स को वेफर प्रसंस्करण उपकरण और वाहक में स्थितियों के बीच ले जाता है। अंतिम प्रभावक को आयामी रूप से सटीक और थर्मल रूप से स्थिर होना चाहिए, जबकि उपकरणों को नुकसान पहुंचाए बिना या कण संदूषण पैदा किए बिना वेफर्स को सुरक्षित रूप से संभालने के लिए एक चिकनी, घर्षण प्रतिरोधी सतह होनी चाहिए।
सेमीकोरेक्स उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग घटक बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक कि लगातार एपी परत मोटाई और प्रतिरोध और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता प्रदान करते हैं।