फोकस रिंग या किनारे के छल्ले को वेफर किनारे या परिधि के चारों ओर खोदने की एकरूपता में सुधार करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
सेमीकोरेक्स फोकस रिंग रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) का उपयोग करके सिलिकॉन कार्बाइड लेपित होते हैं, जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध प्रदान करते हैं, लगातार एपी परत की मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते हैं, जो प्लाज्मा नक़्क़ाशी या सूखी नक़्क़ाशी प्रक्रिया में चरम वातावरण का सामना करने के लिए बनाए जाते हैं। .