फोकस रिंग या एज रिंग को वेफर किनारे या परिधि के आसपास ईच एकरूपता में सुधार करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
सेमीकोरेक्स फोकस रिंग रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) का उपयोग करके लेपित सिलिकॉन कार्बाइड हैं, जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध प्रदान करते हैं, यहां तक कि लगातार एपि परत की मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता, और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध, जो प्लाज्मा नक़्क़ाशी या सूखी नक़्क़ाशी प्रक्रिया में चरम वातावरण का सामना करने के लिए बनाए गए हैं। .
सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग के लिए सेमीकोरेक्स ड्यूरेबल फोकस रिंग्स को सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग में इस्तेमाल होने वाले प्लाज्मा ईच चेंबर्स के चरम वातावरण का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारे फोकस रिंग उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बने होते हैं, जो घने, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग के साथ लेपित होते हैं। सीआईसी कोटिंग में उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध गुण होते हैं, साथ ही साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता भी होती है। हम अपने फोकस रिंगों के सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में SiC लगाते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंसेमीकोरेक्स प्लाज्मा प्रसंस्करण फोकस रिंग को विशेष रूप से सेमीकंडक्टर उद्योग में प्लाज्मा ईच प्रसंस्करण की उच्च मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारे उन्नत, उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित घटक चरम वातावरण का सामना करने के लिए बनाए गए हैं और सिलिकॉन कार्बाइड परतों और एपिटैक्सी सेमीकंडक्टर्स सहित विभिन्न अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए उपयुक्त हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंसेमीकोरेक्स उन्नत, उच्च शुद्धता सीआईसी फोकस रिंग प्लाज्मा ईच (या ड्राई ईच) कक्षों में चरम वातावरण का सामना करने के लिए बनाए गए हैं। हम सेमीकंडक्टर उद्योगों जैसे सिलिकॉन कार्बाइड परतों और एपिटैक्सी सेमीकंडक्टर पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे उत्पादों का अच्छा मूल्य लाभ है और कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम चीन में आपके दीर्घकालिक साझेदार बनने की आशा करते हैं।
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