सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड, जिसे गैस स्प्रे हेड या गैस वितरण प्लेट के रूप में जाना जाता है, सफाई, नक़्क़ाशी और जमाव जैसे प्रमुख प्रक्रिया चरणों के लिए अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला गैस वितरण उपकरण है। सेमीकंडक्टर उद्योग में चिप निर्माण की सटीकता और गुणवत्ता में सुधार के लिए उच्च गुणवत्ता और लागत प्रभावी सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड आवश्यक है।
सेमीकोरेक्स सिंगल क्रिस्टल सिलिकॉनशावर का फव्वाराअसाधारण संक्षारण प्रतिरोध, कम विस्तार गुणांक और उत्कृष्ट ताप चालकता दिखाता है। सेमीकंडक्टर निर्माण में उच्च तापमान, उच्च संक्षारकता और उच्च वैक्यूम की कठोर परिस्थितियों को मजबूती से अपनाते हुए, यह नक़्क़ाशी और जमाव गैसों जैसी गैसों को संसाधित करने के लिए असाधारण सहनशीलता प्रदर्शित करता है। इसलिए, एकल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड का व्यापक रूप से अर्धचालक सफाई प्रक्रियाओं, ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं, जमाव प्रक्रियाओं और नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता है।
सेमीकोरेक्स यह सुनिश्चित करने के लिए उन्नत सतह उपचार तकनीकों का उपयोग करता है कि एकल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड की सतह में अत्यधिक सपाटता और चिकनाई दोनों हैं। इस बीच, चैनल संरचना और गैस पथ के मानकीकृत डिजाइन पर भरोसा करते हुए, एकल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड की सतह समान व्यास के कई छिद्रों के साथ समान रूप से वितरित की जाती है (न्यूनतम व्यास 0.2 मिलीमीटर तक पहुंच सकता है)। एकल क्रिस्टल सिलिकॉन शॉवरहेड की छिद्र व्यास सहिष्णुता को माइक्रोमीटर स्तर पर सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है, और छिद्र की आंतरिक दीवार चिकनी और गड़गड़ाहट से मुक्त होनी चाहिए, जिससे संरचनात्मक और प्रक्रिया पहलुओं से प्रक्रिया गैस की वितरण सटीकता और एकरूपता सुनिश्चित हो सके।
सेमीकोरेक्स विभिन्न ग्राहक आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए विशेषज्ञ अनुकूलन सेवाएँ प्रदान करता है। अपने ग्राहकों की विभिन्न आवश्यकताओं के अनुसार, यह उनके प्रतिक्रिया कक्षों के आयाम और रूप में फिट होने के लिए उपस्थिति समाधानों को अनुकूलित कर सकता है। अनुकूलित डिज़ाइन वेफर्स को प्रतिक्रिया प्रक्रिया के दौरान प्रक्रिया गैस के साथ पूर्ण और लगातार संपर्क बनाने में सक्षम बनाता है, यह गारंटी देकर कि गैस पूरे प्रतिक्रिया कक्ष में समान रूप से फैली हुई है। यह अंततः उत्पादन क्षमता और उत्पाद की गुणवत्ता को बढ़ाता है।