सिलिकॉन शील्ड रिंग

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन शील्ड रिंग नक़्क़ाशी प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण अर्धचालक घटक है। इसका प्राथमिक कार्य इलेक्ट्रोड को घेरना और अत्यधिक प्लाज्मा रिसाव को रोकना है। 9N (99.9999999%) से अधिक सामग्री की शुद्धता के साथ, शील्ड रिंग सिंगल-क्रिस्टल और मल्टी-क्रिस्टल दोनों द्वारा बनाई जा सकती हैसिलिकॉन, उन्नत अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं के साथ अति-स्वच्छ संचालन और विश्वसनीय संगतता सुनिश्चित करना।

सीसीपी/आईसीपी नक़्क़ाशी प्रक्रिया में सटीक प्लाज्मा नियंत्रण प्रभावी, समान नक़्क़ाशी दर और वेफर गुणवत्ता के लिए आवश्यक है। वांछित नक़्क़ाशी क्षेत्र के बाहर अनियंत्रित प्लाज्मा रिसाव सतह का क्षरण और संदूषण पैदा कर सकता है या कक्ष के अंदर के घटकों को नुकसान पहुंचा सकता है। सिलिकॉन शील्ड रिंग इस समस्या का एक प्रभावी, सरल समाधान है, जो इलेक्ट्रोड की बाहरी परिधि पर एक सुरक्षात्मक बाधा बनाने के लिए बनाई गई है, जो प्लाज्मा को लक्ष्य क्षेत्र के बाहर फैलने से रोकती है और नक़्क़ाशी को केवल वांछित क्षेत्र तक सीमित करती है। सिलिकॉन शील्ड रिंग प्लाज्मा वितरण को स्थिर करने और वेफर सतह पर अधिक समान ऊर्जा को सक्षम करने के लिए बाहरी इलेक्ट्रोड के रूप में भी कार्य करती है।

सिलिकॉन के थर्मल और इलेक्ट्रिकल गुण एचिंग शील्ड रिंग के प्रदर्शन का समर्थन करते हैं। उच्च प्रक्रिया तापमान के प्रति इसका प्रतिरोध लंबे समय तक प्लाज्मा एक्सपोजर के दौरान संरचनात्मक अखंडता प्रदान करता है, और इसकी विद्युत चालकता घटक को इलेक्ट्रोड सिस्टम में एक तत्व के रूप में ठीक से काम करने की अनुमति देती है। साथ में, ये अनुप्रयोग प्लाज्मा कारावास को बढ़ाते हैं और ऊर्जा एकरूपता में सुधार करते हैं, जो वेफर्स में दोहराए जाने योग्य ईच प्रोफाइल की अनुमति देता है।

यांत्रिक सहनशीलता सिलिकॉन एचिंग शील्ड रिंग की एक और उल्लेखनीय विशेषता है। कड़ी सहनशीलता के साथ निर्मित होने के कारण, यह इलेक्ट्रोड के चारों ओर सटीक स्थिति सुनिश्चित करता है और चैम्बर की दूरी और ज्यामिति को बनाए रखता है। यह यांत्रिक परिशुद्धता व्यक्तिगत रनों के बीच कम परिवर्तनशीलता के लिए दोहराए जाने योग्य प्रक्रिया की स्थिति उत्पन्न करती है, और उच्च मात्रा में अर्धचालक उत्पादन की अनुमति देने में मदद करती है। सामग्री में स्वयं प्लाज्मा वातावरण के साथ उत्कृष्ट अनुकूलता है; इसलिए इसकी संरचना का क्षरण इसे आम तौर पर लंबी सेवा जीवन और प्रक्रिया प्रदर्शन में स्थिरता प्रदान करने की अनुमति देता है।

स्थायित्व और लागत प्रभावशीलता दो अधिक मूल्यवान लाभ हैं। चैंबर के अनावश्यक हिस्सों को प्लाज्मा से बचाकर, शील्ड रिंग अन्य महत्वपूर्ण घटकों पर घिसाव को कम करती है, जिससे रखरखाव के प्रयास कम हो जाते हैं और समग्र परिचालन समय बढ़ जाता है। लंबी सेवा जीवन और कम बार-बार प्रतिस्थापन इसे सेमीकंडक्टर फैब्स के लिए उत्पादकता बढ़ाने और इस तरह परिचालन लागत को कम करने के लिए एक लागत प्रभावी समाधान बनाता है।

The सिलिकॉनशील्ड रिंग को प्रत्येक उपकरण विन्यास और प्रक्रिया विनिर्देशों के लिए भी अनुकूलित किया जा सकता है क्योंकि वे कई अलग-अलग प्लाज्मा नक़्क़ाशी कक्षों को समायोजित करने के लिए कई आकारों और ज्यामिति में उपलब्ध हैं जो निर्माता बनाते हैं, जबकि अभी भी इष्टतम फिट प्राप्त करते हैं। इसके अतिरिक्त, अल्ट्रा-क्लीन विनिर्माण मानकों के लिए कण उत्पादन को और कम करने के लिए सतह के उपचार और पॉलिशिंग का उपयोग किया जा सकता है।