चीन सेमीकंडक्टर घटक निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फैक्टरी

पेशेवर निर्माण के रूप में, हम आपको सेमीकंडक्टर घटक प्रदान करना चाहते हैं। सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में सुधार के लिए आपका भागीदार है। हमारे सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग घने, उच्च तापमान और रासायनिक प्रतिरोधी हैं, जो अक्सर सेमीकंडक्टर निर्माण के पूरे चक्र में उपयोग किए जाते हैं, जिसमें सेमीकंडक्टर वेफर और वेफर प्रोसेसिंग और सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन शामिल हैं।

सेमीकंडक्टर में प्रक्रियाओं के लिए उच्च शुद्धता वाले SiC लेपित घटक महत्वपूर्ण हैं। हमारी पेशकश क्रिस्टल ग्रोइंग हॉट जोन (हीटर, क्रूसिबल ससेप्टर्स, इंसुलेशन) के लिए ग्रेफाइट उपभोग्य सामग्रियों से लेकर वेफर प्रोसेसिंग उपकरण के लिए उच्च-सटीक ग्रेफाइट घटकों तक है, जैसे एपिटैक्सी या एमओसीवीडी के लिए सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर्स।

अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए लाभ

एपिटॉक्सी या एमओसीवीडी, या वेफर हैंडलिंग प्रोसेसिंग जैसे एचिंग या आयन इम्प्लांट जैसी पतली फिल्म डिपोजिशन चरणों को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना करना पड़ता है। सेमीकोरेक्स उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माण की आपूर्ति करता है जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है, यहां तक ​​कि लगातार एपि परत की मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता भी।

चैंबर ढक्कन â
क्रिस्टल ग्रोथ और वेफर हैंडलिंग प्रोसेसिंग में इस्तेमाल होने वाले चैंबर लिड्स को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना करना पड़ता है।

एंड एफेक्टर â
एंड इफेक्टर रोबोट का हाथ है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स को वेफर प्रोसेसिंग उपकरण और वाहकों में स्थिति के बीच ले जाता है।

इनलेट रिंग्स â
MOCVD उपकरण द्वारा SiC लेपित गैस इनलेट रिंग की यौगिक वृद्धि में उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है, जिसमें अत्यधिक वातावरण में बड़ी स्थिरता होती है।

फोकस रिंग â
सेमीकोरेक्स आपूर्ति सिलिकॉन कार्बाइड लेपित फोकस रिंग आरटीए, आरटीपी या कठोर रासायनिक सफाई के लिए वास्तव में स्थिर है।

वेफर चक â
सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लैट सिरेमिक वैक्यूम वेफर चक वेफर हैंडलिंग प्रक्रिया में उच्च शुद्धता वाले SiC लेपित हैं।