चीन अर्धचालक घटक निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फैक्टरी

पेशेवर निर्माण के रूप में, हम आपको सेमीकंडक्टर घटक प्रदान करना चाहेंगे। सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में सुधार के लिए सेमीकोरेक्स आपका भागीदार है। हमारी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग्स घनी, उच्च तापमान और रासायनिक प्रतिरोधी हैं, जिनका उपयोग अक्सर सेमीकंडक्टर निर्माण के पूरे चक्र में किया जाता है, जिसमें सेमीकंडक्टर वेफर और वेफर प्रसंस्करण और सेमीकंडक्टर निर्माण शामिल हैं।

उच्च शुद्धता वाले SiC लेपित घटक अर्धचालक में प्रक्रियाओं के लिए महत्वपूर्ण हैं। हमारी पेशकश क्रिस्टल बढ़ते गर्म क्षेत्रों (हीटर, क्रूसिबल ससेप्टर्स, इन्सुलेशन) के लिए ग्रेफाइट उपभोग्य सामग्रियों से लेकर वेफर प्रसंस्करण उपकरण के लिए उच्च परिशुद्धता वाले ग्रेफाइट घटकों तक है, जैसे कि एपिटैक्सी या एमओसीवीडी के लिए सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर्स।

अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए लाभ

पतली फिल्म जमाव चरण जैसे एपिटैक्सी या एमओसीवीडी, या वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण जैसे नक़्क़ाशी या आयन प्रत्यारोपण को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई को सहन करना होगा। सेमीकोरेक्स उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माण की आपूर्ति करता है जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है, यहां तक ​​कि लगातार एपि परत मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता भी प्रदान करता है।

चैम्बर ढक्कन →
क्रिस्टल विकास और वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले चैंबर ढक्कन को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई को सहन करना होगा।

अंत प्रभावक →
अंतिम प्रभावक रोबोट का हाथ है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स को वेफर प्रसंस्करण उपकरण और वाहक में स्थिति के बीच ले जाता है।

इनलेट रिंग्स →
एमओसीवीडी उपकरण द्वारा सीआईसी लेपित गैस इनलेट रिंग में यौगिक वृद्धि में उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध होता है, जिसमें चरम वातावरण में बड़ी स्थिरता होती है।

फोकस रिंग →
सेमीकोरेक्स आपूर्ति सिलिकॉन कार्बाइड लेपित फोकस रिंग आरटीए, आरटीपी या कठोर रासायनिक सफाई के लिए वास्तव में स्थिर है।

वेफर चक →
सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लैट सिरेमिक वैक्यूम वेफर चक वेफर हैंडलिंग प्रक्रिया में उपयोग करके उच्च शुद्धता वाले SiC लेपित हैं।