पैनकेक ससेप्टर, अर्धचालक प्रसंस्करण में उपयोग किया जाने वाला वेफर वाहक का एक गोल आकार।
एपिटेक्सी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में एक महत्वपूर्ण कदम है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिटैक्सियल परत को विकसित करता है, जिसमें वेफर्स को ग्रेफाइट रिसेप्टर्स पर ले जाया जाता है। ग्रेफाइट रिसेप्टर्स के गुण एपि-वेफर्स की गुणवत्ता के लिए महत्वपूर्ण कारक हैं।
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ ग्रेफाइट रिसेप्टर्स
सेमीकोरेक्स सहित सभी एपिटेक्सी रिएक्टरों के लिए रिसेप्टर्स और घटकों की आपूर्ति करता हैबैरल संग्राहकऔर पैनकेक सुसेप्टर्स। हम उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट और सीवीडी SiC कोटिंग का उपयोग करते हैं।