चैंबर ढक्कन का उपयोग जमाव कक्षों में एक स्वच्छ, निष्क्रिय और संरक्षित वातावरण बनाने के लिए किया जाता है, ताकि वे जमाव या खोदने की प्रक्रिया के दौरान प्लाज्मा और उच्च तापमान के संपर्क में आ सकें। सेमीकोरेक्स चैम्बर ढक्कन रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) विधि का उपयोग करके सिलिकॉन कार्बाइड द्वारा लेपित टिकाऊ सिरेमिक घटक हैं, जो इन चुनौतीपूर्ण वातावरणों का सामना करने के लिए बहुत अच्छे हैं।
अर्धरेक्स सिस लिड एक उच्च-शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड घटक है जो चरम अर्धचालक प्रसंस्करण वातावरण के लिए इंजीनियर है। अर्धविराम का चयन करने का मतलब है कि दुनिया भर में प्रमुख अर्धचालक निर्माताओं द्वारा विश्वसनीय रूप से बेजोड़ सामग्री की गुणवत्ता, प्रेसिजन इंजीनियरिंग और कस्टम समाधान सुनिश्चित करना।****
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