चैंबर ढक्कन का उपयोग जमाव कक्षों में एक स्वच्छ, निष्क्रिय और संरक्षित वातावरण बनाने के लिए किया जाता है, ताकि वे जमाव या खोदने की प्रक्रिया के दौरान प्लाज्मा और उच्च तापमान के संपर्क में आ सकें। सेमीकोरेक्स चैम्बर ढक्कन रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) विधि का उपयोग करके सिलिकॉन कार्बाइड द्वारा लेपित टिकाऊ सिरेमिक घटक हैं, जो इन चुनौतीपूर्ण वातावरणों का सामना करने के लिए बहुत अच्छे हैं।