TaC कोटिंग ग्रेफाइट एक मालिकाना रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया द्वारा टैंटलम कार्बाइड की एक महीन परत के साथ उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सब्सट्रेट की सतह को कोटिंग करके बनाया जाता है।
टैंटलम कार्बाइड (TaC) एक यौगिक है जिसमें टैंटलम और कार्बन होता है। इसमें धात्विक विद्युत चालकता और असाधारण रूप से उच्च गलनांक होता है, जो इसे एक दुर्दम्य सिरेमिक सामग्री बनाता है जो अपनी ताकत, कठोरता और गर्मी और पहनने के प्रतिरोध के लिए जाना जाता है। टैंटलम कार्बाइड का गलनांक शुद्धता के आधार पर लगभग 3880°C तक पहुँच जाता है और बाइनरी यौगिकों में यह सबसे अधिक गलनांक में से एक है। यह इसे एक आकर्षक विकल्प बनाता है जब उच्च तापमान की मांग एमओसीवीडी और एलपीई जैसे यौगिक अर्धचालक एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में उपयोग की जाने वाली प्रदर्शन क्षमताओं से अधिक हो जाती है।
सेमीकोरेक्स TaC कोटिंग का सामग्री डेटा
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परियोजनाओं |
पैरामीटर |
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घनत्व |
14.3 (ग्राम/सेमी³) |
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उत्सर्जन |
0.3 |
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सीटीई (×10-6/के) |
6.3 |
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कठोरता (एचके) |
2000 |
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प्रतिरोध (ओम-सेमी) |
1×10-5 |
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तापीय स्थिरता |
<2500℃ |
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ग्रेफाइट आयाम परिवर्तन |
-10~-20um (संदर्भ मान) |
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कोटिंग की मोटाई |
≥20um विशिष्ट मान(35um±10um) |
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उपरोक्त विशिष्ट मान हैं |
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सेमीकोरेक्स पोरस टैंटलम कार्बाइड रिंग्स उच्च-प्रदर्शन वाले दुर्दम्य घटक हैं जो विशेष रूप से सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) क्रिस्टल विकास की भौतिक वाष्प परिवहन (PVT) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जिसमें एक अखंड पापयुक्त संरचना होती है जो असाधारण थर्मल स्थिरता और नियंत्रित गैस पारगम्यता प्रदान करती है।*
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और पढ़ेंजांच भेजेंसेमीकोरेक्स टीएसी कोटेड ग्रेफाइट क्रूसिबल टैंटलम कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट द्वारा सीवीडी विधि के माध्यम से बनाया जाता है, जो सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में उपयोग की जाने वाली सबसे उपयुक्त सामग्री है। सेमीकोरेक्स एक ऐसी कंपनी है जो लगातार सीवीडी सिरेमिक कोटिंग में विशेषज्ञता रखती है और सेमीकंडक्टर उद्योग में सर्वोत्तम सामग्री समाधान प्रदान करती है।*
और पढ़ेंजांच भेजेंएपिटैक्सियल ग्रोथ में सेमीकोरेक्स टीएसी लेपित घटक सेमीकंडक्टर में एपिटैक्सियल प्रक्रिया में वायु सेवन में स्थित एक बहुमूल्य मशीनी हिस्सा है। सेमीकोरेक्स एक शीर्ष कंपनी है जो चीन में सीवीडी टीएसी कोटिंग तकनीक में विशेषज्ञता रखती है, और दुनिया भर में उत्पादों का निर्यात करती है।*
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