चीन विशेष ग्रेफाइट निर्माता, आपूर्तिकर्ता, फैक्टरी

विशेष ग्रेफाइट एक प्रकार का कृत्रिम ग्रेफाइट है जिसे संसाधित किया जाता है। यह एक महत्वपूर्ण सामग्री है जो सेमीकंडक्टर और फोटोवोल्टिक विनिर्माण प्रक्रिया के सभी पहलुओं में अपरिहार्य है, जिसमें क्रिस्टल विकास, आयन आरोपण, एपिटैक्सी, आदि शामिल हैं।

1। सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) क्रिस्टल विकास

तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक सामग्री के रूप में सिलिकॉन कार्बाइड, व्यापक रूप से नए ऊर्जा वाहनों, 5 जी संचार और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है। 6-इंच और 8-इंच SIC क्रिस्टल ग्रोथ प्रक्रिया में, आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट का उपयोग मुख्य रूप से निम्नलिखित प्रमुख घटकों के निर्माण के लिए किया जाता है:

ग्रेफाइट क्रूसिबल: इसका उपयोग एसआईसी पाउडर फीडस्टॉक को संश्लेषित करने के लिए किया जा सकता है और उच्च तापमान पर क्रिस्टल विकास में भी सहायता करता है। इसकी उच्च शुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोध, और थर्मल शॉक प्रतिरोध एक स्थिर क्रिस्टल विकास वातावरण सुनिश्चित करता है।

ग्रेफाइट हीटर: यह एक समान गर्मी वितरण प्रदान करता है, उच्च गुणवत्ता वाले एसआईसी क्रिस्टल विकास को सुनिश्चित करता है।

इन्सुलेशन ट्यूब: यह क्रिस्टल विकास भट्ठी के भीतर तापमान एकरूपता को बनाए रखता है और गर्मी के नुकसान को कम करता है।

2। आयन आरोपण

आयन आरोपण अर्धचालक विनिर्माण में एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है। Isostatic ग्रेफाइट का उपयोग मुख्य रूप से आयन प्रत्यारोपण में निम्नलिखित घटकों के निर्माण के लिए किया जाता है:

ग्रेफाइट गेट्टर: यह आयन बीम में अशुद्धता आयनों को अवशोषित करता है, आयन शुद्धता सुनिश्चित करता है।

ग्रेफाइट फोकसिंग रिंग: यह आयन बीम पर ध्यान केंद्रित करता है, आयन प्रत्यारोपण सटीकता और दक्षता में सुधार करता है। ग्रेफाइट सब्सट्रेट ट्रे: सिलिकॉन वेफर्स का समर्थन करने और आयन आरोपण के दौरान स्थिरता और स्थिरता बनाए रखने के लिए उपयोग किया जाता है।

3। एपिटैक्सी प्रक्रिया

एपिटैक्सी प्रक्रिया सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण में एक महत्वपूर्ण कदम है। आइसोस्टिक रूप से दबाए गए ग्रेफाइट का उपयोग मुख्य रूप से एपिटैक्सी भट्टियों में निम्नलिखित घटकों का निर्माण करने के लिए किया जाता है:

ग्रेफाइट ट्रे और सेंसेसर्स: सिलिकॉन वेफर्स का समर्थन करने के लिए उपयोग किया जाता है, एपिटैक्सी प्रक्रिया के दौरान स्थिर समर्थन और समान गर्मी चालन प्रदान करता है।

4। अन्य अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोग

आइसोस्टिक रूप से दबाया गया ग्रेफाइट भी निम्नलिखित अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोगों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है:

Etching प्रक्रिया: Etchers के लिए ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड और सुरक्षात्मक घटकों का निर्माण करने के लिए उपयोग किया जाता है। इसका संक्षारण प्रतिरोध और उच्च शुद्धता नक़्क़ाशी प्रक्रिया में स्थिरता और सटीकता सुनिश्चित करती है।

रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी): सीवीडी भट्टियों के भीतर ग्रेफाइट ट्रे और हीटर का निर्माण करने के लिए उपयोग किया जाता है। इसकी उच्च तापीय चालकता और उच्च तापमान प्रतिरोध समान पतली फिल्म बयान सुनिश्चित करता है।

पैकेजिंग परीक्षण: परीक्षण जुड़नार और वाहक ट्रे का निर्माण करने के लिए उपयोग किया जाता है। इसकी उच्च परिशुद्धता और कम संदूषण सटीक परीक्षण परिणाम सुनिश्चित करते हैं।

ग्रेफाइट भागों के लाभ

उच्च शुद्धता:

बेहद कम अशुद्धता सामग्री के साथ उच्च-शुद्धता वाले आइसोस्टिक रूप से दबाए गए ग्रेफाइट सामग्री का उपयोग करते हुए, यह अर्धचालक विनिर्माण की कठोर सामग्री शुद्धता आवश्यकताओं को पूरा करता है। कंपनी की अपनी शुद्धि भट्ठी ग्रेफाइट को 5ppm से नीचे शुद्ध कर सकती है।

उच्चा परिशुद्धि:

उन्नत प्रसंस्करण उपकरण और परिपक्व प्रसंस्करण तकनीक के साथ, यह सुनिश्चित करता है कि उत्पाद की आयामी सटीकता और रूप और स्थिति सहिष्णुता माइक्रोन स्तर तक पहुंचती है।

उच्च प्रदर्शन:

उत्पाद में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, विकिरण प्रतिरोध, उच्च तापीय चालकता और अन्य गुण हैं, जो अर्धचालक विनिर्माण की विभिन्न कठोर कामकाजी परिस्थितियों को पूरा करते हैं।

अनुकूलित सेवा:

विभिन्न अनुप्रयोग परिदृश्यों की जरूरतों को पूरा करने के लिए ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित उत्पाद डिजाइन और प्रसंस्करण सेवाएं प्रदान की जा सकती हैं।

ग्रेफाइट उत्पादों के प्रकार

(1) आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट
आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट उत्पादों का उत्पादन कोल्ड आइसोस्टैटिक प्रेसिंग द्वारा किया जाता है। अन्य गठन विधियों की तुलना में, इस प्रक्रिया द्वारा उत्पादित क्रूसिबल में उत्कृष्ट स्थिरता है। SIC सिंगल क्रिस्टल के लिए आवश्यक ग्रेफाइट उत्पाद सभी आकार में बड़े हैं, जो सतह पर और ग्रेफाइट उत्पादों के अंदर असमान शुद्धता को जन्म देंगे, जो उपयोग की आवश्यकताओं को पूरा नहीं कर सकते हैं। SIC सिंगल क्रिस्टल के लिए आवश्यक बड़े आकार के ग्रेफाइट उत्पादों की गहरी शुद्धि आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, बड़े आकार के या विशेष-आकार के ग्रेफाइट उत्पादों की गहरी और समान शुद्धि को प्राप्त करने के लिए एक अद्वितीय उच्च तापमान थर्मोकेमिकल पल्स शुद्धि प्रक्रिया को अपनाया जाना चाहिए, ताकि उत्पाद की सतह और कोर की शुद्धता उपयोग आवश्यकताओं को पूरा कर सके।

(२) झरझरा ग्रेफाइट
झरझरा ग्रेफाइट उच्च छिद्र और कम घनत्व के साथ एक प्रकार का ग्रेफाइट है। एसआईसी क्रिस्टल विकास प्रक्रिया में, झरझरा ग्रेफाइट बड़े पैमाने पर स्थानांतरण एकरूपता में सुधार करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है, चरण परिवर्तन की घटना दर को कम करता है और क्रिस्टल आकार में सुधार करता है।
झरझरा ग्रेफाइट का उपयोग कच्चे माल के तापमान और तापमान की एकरूपता में सुधार करता है, क्रूसिबल में अक्षीय तापमान अंतर को बढ़ाता है, और कच्चे माल की सतह के पुनरावर्तन को कमजोर करने पर भी एक निश्चित प्रभाव पड़ता है; विकास कक्ष में, झरझरा ग्रेफाइट विकास प्रक्रिया में सामग्री प्रवाह की स्थिरता में सुधार करता है, विकास क्षेत्र के सी/एसआई अनुपात को बढ़ाता है, चरण परिवर्तन की संभावना को कम करने में मदद करता है, और एक ही समय में, झरझरा ग्रेफाइट भी क्रिस्टल इंटरफ़ेस में सुधार करने में एक भूमिका निभाता है।

(३) महसूस किया
सॉफ्ट फेल्ट एंड हार्ड फेल्ट दोनों एसआईसी क्रिस्टल ग्रोथ और एपिटैक्सियल लिंक में महत्वपूर्ण थर्मल इन्सुलेशन सामग्री की भूमिका निभाते हैं।

(४) ग्रेफाइट पन्नी
ग्रेफाइट पेपर रासायनिक उपचार और उच्च तापमान रोलिंग के माध्यम से उच्च-कार्बन फ्लेक ग्रेफाइट से बना एक कार्यात्मक सामग्री है। इसमें उच्च तापीय चालकता, विद्युत चालकता, लचीलापन और संक्षारण प्रतिरोध है।

(५) समग्र सामग्री
कार्बन-कार्बन थर्मल फील्ड फोटोवोल्टिक सिंगल क्रिस्टल फर्नेस उत्पादन में मुख्य उपभोग्य सामग्रियों में से एक है।

अर्ध -उत्पादन उत्पादन

अर्धविराम छोटे-बैच, अनुकूलित उत्पादन विधियों के साथ ग्रेफाइट बनाते हैं। छोटे-बैच उत्पादन उत्पादों को अधिक नियंत्रणीय बनाता है। पूरी प्रक्रिया को प्रोग्रामेबल लॉजिक कंट्रोलर्स (PLCs) द्वारा नियंत्रित किया जाता है, विस्तृत प्रक्रिया डेटा दर्ज किया गया था, जिससे पूर्ण जीवनचक्र संकुचितता को सक्षम किया गया था।

संपूर्ण रोस्टिंग प्रक्रिया के दौरान, विभिन्न स्थानों पर प्रतिरोधकता में प्राप्त स्थिरता, और तंग तापमान नियंत्रण बनाए रखा। यह ग्रेफाइट सामग्री की समरूपता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है।

अर्धविराम पूरी तरह से आइसोस्टैटिक प्रेसिंग तकनीक का उपयोग करते हैं, जो अन्य आपूर्तिकर्ताओं से अलग है; इसका मतलब है कि ग्रेफाइट अल्ट्रा वर्दी है और एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में विशेष रूप से महत्वपूर्ण साबित होता है। व्यापक सामग्री एकरूपता परीक्षणों का आयोजन किया गया, जिसमें विभिन्न नमूनों में घनत्व, प्रतिरोधकता, कठोरता, झुकने की शक्ति और ताकत शामिल थी।