सिलिकॉन पेडस्टल नाव

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन पेडस्टल बोट एक अल्ट्रा-क्लीन वेफर कैरियर है जिसे ऑक्सीकरण, प्रसार और एलपीसीवीडी (कम दबाव रासायनिक वाष्प जमाव) जैसी उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाओं का समर्थन करने के लिए उच्च शुद्धता और परिशुद्धता के साथ इंजीनियर किया गया है। यह वेफर कैरियर 9N (99.9999999%) से बना हैउच्च शुद्धता वाला सिलिकॉनअसाधारण सफाई, विस्तार स्थिरता के थर्मल गुणांक, और वेफर समर्थन के लिए यांत्रिक परिशुद्धता और अल्ट्रा-स्वच्छ वातावरण में लगातार प्रक्रिया नियंत्रण सुनिश्चित करने के लिए।

जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर डिवाइस ज्यामिति सिकुड़ती जा रही है, अल्ट्रा-क्लीन और थर्मली संगत वेफर हैंडलिंग घटकों की आवश्यकता इतनी मांग में कभी नहीं रही है। सिलिकॉन पेडस्टल नाव उच्च आयामी सटीकता और बेजोड़ शुद्धता के साथ इन मांगों को पूरा करती है, जिसका उपयोग उन्नत भट्ठी प्रणालियों में किया जाता है जो 1100 डिग्री सेल्सियस और 1250 डिग्री सेल्सियस के बीच संचालित होते हैं।

सिलिकॉन नाव संरचना को ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित किया जा सकता है, जिसमें ग्रूव बार आकार, ग्रूव दांत की लंबाई, आकार, झुकाव कोण और कुल वेफर लोडिंग क्षमता शामिल है। उच्च तापमान वाली सिलिकॉन नावें प्रभावी ढंग से सिलिकॉन वेफर्स के संपर्क क्षति को कम कर सकती हैं, जिससे प्रक्रिया उपज में सुधार हो सकता है। इसका उच्च-तापमान "स्लिप-फ्री टावर्स" डिज़ाइन केवल सहायक दांत की नोक पर वेफर्स का समर्थन करता है। सिलिकॉन कार्बाइड की तुलना में, सिलिकॉन अपेक्षाकृत कम कठोर होता है, जिससे वेफर्स को यांत्रिक क्षति कम होती है, जिससे जाली की गुणवत्ता में सुधार होता है और उत्पादन लागत प्रभावी ढंग से कम हो जाती है।

पेडस्टल नाव उपलब्ध हैमोनोक्रिस्टलाइन या पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉनगैर-सिलिकॉन सामग्रियों से जुड़े संदूषण जोखिमों को दूर करने के लिए। प्लेटफ़ॉर्म सक्रिय रूप से उपयोग किए जाने वाले वेफर्स के समान रासायनिक संरचना साझा करता है, जो उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान अवांछित प्रतिक्रियाओं या आयन प्रसार को कम करता है। बार-बार उत्पादन चक्रों के माध्यम से लगातार उच्च वेफर गुणवत्ता और उच्च डिवाइस उपज के लिए सामग्री की एकरूपता कणों और धातु की अशुद्धियों की भौतिक पहचान को काफी हद तक कम कर देती है।

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन पेडस्टल बोट में ऊर्ध्वाधर समर्थन संरचनाओं के साथ संयुक्त रूप से डिजाइन किए गए वेफर स्लॉट हैं, जो यह सुनिश्चित करते हैं कि हीटिंग चक्र के दौरान वेफर्स पूरी तरह से संरेखित और दूरी पर रहें। इसकी आयामी स्थिरता उत्कृष्ट है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि पैडस्टल नाव अत्यधिक तापमान में मुड़ेगी, झुकेगी या शिफ्ट नहीं होगी, जिससे प्रत्येक वेफर पर अच्छा तापमान और गैस वितरण उपलब्ध होगा। इस आयामी स्थिरता का ऑक्सीकरण और प्रसार के दौरान फिल्म की मोटाई की एकरूपता पर तत्काल, सकारात्मक प्रभाव पड़ता है और कम दोष संख्या के साथ-साथ बेहतर प्रक्रिया दोहराव प्रदान करता है।

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन पेडस्टल बोट में ऊर्ध्वाधर समर्थन संरचनाओं के साथ संयुक्त रूप से डिजाइन किए गए वेफर स्लॉट हैं, जो यह सुनिश्चित करते हैं कि हीटिंग चक्र के दौरान वेफर्स पूरी तरह से संरेखित और दूरी पर रहें। इसकी आयामी स्थिरता उत्कृष्ट है, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि पैडस्टल नाव अत्यधिक तापमान में मुड़ेगी, झुकेगी या शिफ्ट नहीं होगी, जिससे प्रत्येक वेफर पर अच्छा तापमान और गैस वितरण उपलब्ध होगा। इस आयामी स्थिरता का ऑक्सीकरण और प्रसार के दौरान फिल्म की मोटाई की एकरूपता पर तत्काल, सकारात्मक प्रभाव पड़ता है और कम दोष संख्या के साथ-साथ बेहतर प्रक्रिया दोहराव प्रदान करता है।

पैडस्टल नाव में अच्छी थर्मल चालकता और थर्मल विस्तार का कम गुणांक होता है जो कई हीटिंग और शीतलन चक्रों के साथ आकार और संरचनात्मक सुदृढ़ता बनाए रखते हुए गर्मी हस्तांतरण विशेषताओं को प्रदान करता है। मजबूत डिज़ाइन चरम भट्टी स्थितियों के माध्यम से न्यूनतम विरूपण के साथ लंबा जीवन भी प्रदान करता है।

सेमीकोरेक्स विभिन्न प्रकार के उपकरण कॉन्फ़िगरेशन के लिए कस्टम डिज़ाइन प्रदान करता है, जिसमें वेफर व्यास, स्लॉट गिनती, पेडस्टल ऊंचाई और ज्यामिति विविधताएं शामिल हैं। सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में उच्चतम मानकों को पूरा करने के लिए प्रत्येक उत्पाद की शुद्धता, आयामी माप और तापीय चालकता के परीक्षण के लिए निरीक्षण किया जाता है।

सिलिकॉन पेडस्टल नाव ऑक्सीकरण और प्रसार प्रक्रियाओं के साथ-साथ एलपीसीवीडी और एनीलिंग अनुप्रयोगों के साथ संगत है, जिसके लिए अद्वितीय तापमान एकरूपता और संदूषण नियंत्रण की आवश्यकता होती है। सिलिकॉन पेडस्टल नाव अन्य सिलिकॉन भट्टी घटकों जैसे इंजेक्टर ट्यूब, लाइनर ट्यूब और वेफर कैरियर के साथ संगत है, जो पूरे प्रसंस्करण प्रणाली में सामग्री और थर्मल मैच को बनाए रखती है।