प्रसंस्करण के दौरान, सेमीकंडक्टर वेफर्स को विशेष भट्टियों में गर्म किया जाना चाहिए। रिएक्टर में लम्बी, बेलनाकार ट्यूबें होती हैं, जिसमें वेफर्स को पूर्व निर्धारित, समान दूरी पर वेफर नौकाओं पर रखा जाता है। कक्ष के भीतर प्रसंस्करण स्थितियों को जीवित रखने के लिए, और प्रसंस्करण उपकरण, वेफर नौकाओं और कई से वेफर्स के अपशिष्ट को कम करने के लिए वेफर प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले अन्य उपकरण सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) जैसी सामग्री से निर्मित होते हैं।
संसाधित किए जाने वाले वेफर्स के एक बैच से भरी हुई नावें लंबे कैंटिलीवर पैडल पर स्थित होती हैं, जिसके द्वारा उन्हें ट्यूबलर भट्टियों और रिएक्टरों में डाला और निकाला जा सकता है। पैडल में एक चपटा वाहक अनुभाग शामिल होता है जिस पर एक या अधिक नावें स्थित हो सकती हैं, और एक लंबा हैंडल, चपटा वाहक अनुभाग के एक छोर पर स्थित होता है, जिसके द्वारा पैडल को संभाला जा सकता है।
कैंटिलीवर पैडल को CVD SiC पतली परत के साथ पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग करने की अनुशंसा की जाती है, जो उच्च शुद्धता है और अर्धचालक प्रसंस्करण में घटकों के लिए सबसे अच्छा विकल्प है।
सेमीकोरेक्स चित्र और कामकाजी माहौल के अनुसार अनुकूलित सेवा प्रदान कर सकता है।
सेमीकोरेक्स SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) कैंटिलीवर पैडल सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक महत्वपूर्ण घटक है, विशेष रूप से प्रसार और आरटीपी (रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग) जैसी प्रक्रियाओं के दौरान प्रसार या एलपीसीवीडी (लो-प्रेशर केमिकल वेपर डिपोजिशन) भट्टियों में। SiC कैंटिलीवर पैडल प्रसार और आरटीपी जैसी विभिन्न उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान प्रक्रिया ट्यूब के भीतर अर्धचालक वेफर्स को सुरक्षित रूप से ले जाने के लिए है। यह इन भट्टियों की प्रक्रिया ट्यूब के भीतर वेफर्स को समर्थन और परिवहन करने के उद्देश्य को पूरा करता है। सेमीकोरेक्स प्रतिस्पर्धी कीमतों पर गुणवत्तापूर्ण उत्पाद उपलब्ध कराने के लिए प्रतिबद्ध है, हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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