सिलिकॉन इंजेक्टर

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन इंजेक्टर एक अति-उच्च शुद्धता वाला घटक है जिसे पॉलीसिलिकॉन और पतली फिल्म जमाव के लिए कम दबाव वाले रासायनिक वाष्प जमाव (एलपीसीवीडी) सिस्टम में गैस की सटीक डिलीवरी के लिए डिज़ाइन किया गया है। 9N से निर्मित (99.9999999%)उच्च शुद्धता सिलिकॉन, यह बढ़िया ट्यूबलर इंजेक्टर बेहतर सफाई, रसायनों के साथ अनुकूलता और चरम प्रक्रिया स्थितियों में थर्मल स्थिरता प्रदान करता है।

चूंकि सेमीकंडक्टर विनिर्माण एकीकरण के उच्च स्तर और संदूषण के सख्त नियंत्रण के लिए विकसित हो रहा है, जमाव कक्ष में प्रत्येक गैस वितरण घटक को भी पहले की तुलना में उच्च मानकों को पूरा करने की आवश्यकता होगी। सेमीकोरेक्स सिलिकॉन इंजेक्टर को विशेष रूप से इस प्रकार की आवश्यकताओं के लिए विकसित किया गया है - संदूषण उत्पन्न किए बिना पूरे प्रतिक्रिया कक्ष में स्थिर और समान तरीके से गैसीय सामग्री वितरित करना जो फिल्म की गुणवत्ता, या वेफर उपज को नकारात्मक रूप से प्रभावित करेगा।

इंजेक्टर प्रक्रिया आवश्यकताओं के आधार पर मोनोक्रिस्टलाइन या पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन से निर्मित होता है, और सामग्री को कम धातु, कण और आयनिक अशुद्धियों के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह अल्ट्रा-क्लीन एलपीसीवीडी स्थितियों के साथ अनुकूलता प्रदान करता है, जहां सूक्ष्म संदूषण भी फिल्म में खराबी या डिवाइस की विफलता को प्रेरित कर सकता है। आधार सामग्री के रूप में सिलिकॉन का उपयोग कक्ष के इंजेक्टर और सिलिकॉन घटकों के बीच सामग्री बेमेल को भी कम करता है, जो उपयोग और उच्च तापमान संचालन के दौरान कण उत्पादन जोखिम या रासायनिक प्रतिक्रियाओं को काफी कम करता है।

सिलिकॉन इंजेक्टर की समर्पित ट्यूबलर संरचना एक समान वेफर लोड पर गैस के नियंत्रित और समान वितरण की अनुमति देती है। सूक्ष्म-इंजीनियर्ड छिद्र और चिकनी आंतरिक सतह लैमिनर गैस गतिशीलता के साथ पुनरुत्पादित प्रवाह दर सुनिश्चित करती है जो भट्टी में लगातार फिल्म मोटाई और स्थिर जमाव दर के लिए महत्वपूर्ण हैं। चाहे वह सिलेन (SiH₄), डाइक्लोरोसिलेन (SiH₂Cl₂), या अन्य प्रतिक्रियाशील गैसें हों, इंजेक्टर अच्छी गुणवत्ता वाले पॉलीसिलिकॉन फिल्म विकास के लिए आवश्यक भरोसेमंद प्रदर्शन और सटीकता प्रदान करता है।

उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता के कारण, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन इंजेक्टर 1250 डिग्री सेल्सियस तक तापमान का सामना कर सकता है और उच्च तापमान एलपीसीवीडी के कई चक्रों के दौरान विरूपण, क्रैकिंग या विकृत होने के डर के बिना नियंत्रित किया जा सकता है। इसके अतिरिक्त, ऑक्सीकरण और रासायनिक जड़ता के प्रति इसका उच्च प्रतिरोध रखरखाव को कम करते हुए और प्रक्रिया स्थिरता बनाते हुए ऑक्सीकरण, कम करने या संक्षारक वातावरण में लंबे समय तक चलता है।

प्रत्येक इंजेक्टर को अत्याधुनिक सीएनसी मशीनिंग और पॉलिशिंग का उपयोग करके निर्मित किया जाता है, जो सतह पर उप-माइक्रोन आयामी सहनशीलता और अल्ट्रा-स्मूद फिनिश प्राप्त करता है। उच्च गुणवत्ता वाली सतह फिनिश गैस अशांति को कम करती है, असंगत थर्मल और दबाव परिवर्तनों में लगातार प्रवाह विशेषताओं को सुनिश्चित करते हुए बहुत कम या शून्य कण बनाती है। परिशुद्धता विनिर्माण कसकर नियंत्रित प्रक्रियाओं, विश्वसनीय परिणामों को पुन: प्रस्तुत करने और इसलिए लगातार उपकरण प्रदर्शन को सुनिश्चित करता है।

सेमीकोरेक्स कस्टम लंबाई, व्यास और नोजल कॉन्फ़िगरेशन में उपलब्ध कस्टम सिलिकॉन इंजेक्टर का निर्माण करता है। एकबारगी रिएक्टर ज्यामिति या जमाव व्यंजनों के लिए गैस फैलाव पैटर्न को बढ़ाने के लिए अनुरूप समाधान विकसित किए जा सकते हैं। सेमीकंडक्टर-ग्रेड का उच्चतम स्तर प्रदान करने के लिए प्रत्येक इंजेक्टर का शुद्धता के लिए निरीक्षण और सत्यापन किया जाता हैसिलिकॉन घटक.

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन इंजेक्टर आज के सेमीकंडक्टर निर्माण में आवश्यक सटीकता और शुद्धता प्रदान करता है। 9एन अल्ट्रा-उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन, माइक्रोन-स्तरीय मशीनिंग सटीकता और उच्च तापीय और रासायनिक स्थिरता को शामिल करने से एलपीसीवीडी पॉलीसिलिकॉन जमा करते समय समान गैस वितरण, कम कण उत्पादन और असाधारण विश्वसनीयता मिलती है।