सेमीकोरेक्स के SiC-लेपित ICP घटक को विशेष रूप से एपिटॉक्सी और MOCVD जैसी उच्च-तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। एक बेहतरीन SiC क्रिस्टल कोटिंग के साथ, हमारे वाहक बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक कि थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंजब एपिटाक्सी और एमओसीवीडी जैसी वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं की बात आती है, तो प्लाज़्मा एच्च चेम्बर्स के लिए सेमीकोरेक्स की उच्च-तापमान सीआईसी कोटिंग शीर्ष पसंद है। हमारे वाहक बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक कि थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करते हैं, जो हमारे ठीक SiC क्रिस्टल कोटिंग के लिए धन्यवाद है।
और पढ़ेंजांच भेजेंसेमीकोरेक्स की आईसीपी प्लाज़्मा एचिंग ट्रे को विशेष रूप से एपिटैक्सी और एमओसीवीडी जैसी उच्च-तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए बनाया गया है। 1600 डिग्री सेल्सियस तक के स्थिर, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध के साथ, हमारे वाहक थर्मल प्रोफाइल, लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न भी प्रदान करते हैं, और संदूषण या अशुद्धता प्रसार को रोकते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंICP प्लाज्मा एचिंग सिस्टम के लिए सेमीकोरेक्स का SiC कोटेड कैरियर एपिटैक्सी और MOCVD जैसी उच्च तापमान वाले वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए एक विश्वसनीय और लागत प्रभावी समाधान है। हमारे वाहकों में एक बेहतरीन SiC क्रिस्टल कोटिंग होती है जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक कि थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करती है।
और पढ़ेंजांच भेजेंसेमीकोरेक्स के सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर फॉर इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज़्मा (आईसीपी) को विशेष रूप से एपिटैक्सी और एमओसीवीडी जैसी उच्च तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। 1600 डिग्री सेल्सियस तक के एक स्थिर, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध के साथ, हमारे वाहक थर्मल प्रोफाइल, लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न भी सुनिश्चित करते हैं, और संदूषण या अशुद्धता प्रसार को रोकते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजेंसेमीकोरेक्स का आईसीपी एचिंग वेफर होल्डर एपिटैक्सी और एमओसीवीडी जैसी उच्च-तापमान वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए एकदम सही समाधान है। 1600 डिग्री सेल्सियस तक के एक स्थिर, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध के साथ, हमारे वाहक थर्मल प्रोफाइल, लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न भी सुनिश्चित करते हैं, और संदूषण या अशुद्धता प्रसार को रोकते हैं।
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