सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर उद्योगों में सिलिकॉन कार्बाइड परतों पर ध्यान केंद्रित करने वाले आपके ओईएम सेमी फैब्रिकेशन टूल्स और वेफर हैंडलिंग घटकों के लिए सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरेमिक प्रदान करता है। हम कई वर्षों से वेफर कैरियर ट्रे के निर्माता और आपूर्तिकर्ता रहे हैं। हमारे वेफर कैरियर ट्रे में अच्छी कीमत का लाभ है और अधिकांश यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम चीन में आपके दीर्घकालिक साझेदार बनने की आशा करते हैं।
न केवल एपिटाक्सी या एमओसीवीडी, या वेफर हैंडलिंग प्रोसेसिंग जैसी पतली फिल्म निक्षेपण चरणों के लिए, सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-प्योर सिरेमिक कैरियर की आपूर्ति करता है जिसका उपयोग वेफर्स का समर्थन करने के लिए किया जाता है। प्रक्रिया के मूल में, MOCVD के लिए वेफर कैरियर ट्रे, पहले निक्षेपण वातावरण के अधीन होती है, इसलिए इसमें उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है। SiC लेपित वाहक में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण भी होते हैं।
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वेफर कैरियर ट्रे के पैरामीटर
तकनीकी गुण |
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अनुक्रमणिका |
इकाई |
कीमत |
||
सामग्री नाम |
रिएक्शन निसादित सिलिकॉन कार्बाइड |
दबाव रहित निसादित सिलिकॉन कार्बाइड |
Recrystallized सिलिकॉन कार्बाइड |
|
संघटन |
आरबीएसआईसी |
एसएसआईसी |
आर-एसआईसी |
|
थोक घनत्व |
जी / सेमी 3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
आनमनी सार्मथ्य |
एमपीए (केपीएसआई) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20 डिग्री सेल्सियस) 90-100 (1400 डिग्री सेल्सियस) |
सम्पीडक क्षमता |
एमपीए (केपीएसआई) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
कठोरता |
नूप |
2700 |
2800 |
/ |
तप तोड़ना |
एमपीए एम 1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
ऊष्मीय चालकता |
डब्ल्यू/एम.के |
95 |
120 |
23 |
ताप विस्तार प्रसार गुणांक |
10-6.1/डिग्री सेल्सियस |
5 |
4 |
4.7 |
विशिष्ट ऊष्मा |
जूल/जी 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
हवा में अधिकतम तापमान |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
लोचदार मापांक |
जीपीए |
360 |
410 |
240 |
एसएसआईसी और आरबीएसआईसी के बीच अंतर:
1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। RBSiC कम तापमान पर मुक्त Si को सिलिकॉन कार्बाइड में घुसपैठ करना है, SSiC 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन द्वारा बनता है।
2. SSiC की सतह अधिक चिकनी, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।
3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया जाने वाला समय, SSiC RBSiC से अधिक लंबा है
वेफर कैरियर ट्रे की विशेषताएं
- सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग सेवा जीवन में सुधार करने के लिए।
- उच्च प्रदर्शन शुद्ध कठोर कार्बन से बना थर्मल इन्सुलेशन।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- पिनहोल प्रतिरोध और उच्च जीवनकाल के लिए उच्च शुद्धता ग्रेफाइट और SiC कोटिंग
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के उपलब्ध आकार
â सिरेमिक रॉड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लंगर
â सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक झाड़ी / सिरेमिक आस्तीन
â सिरेमिक रिंग / सिरेमिक वॉशर / सिरेमिक स्पेसर
â सिरेमिक डिस्क
â सिरेमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक
â सिरेमिक बॉल
â सिरेमिक पिस्टन
â सिरेमिक नोज़ल
â सिरेमिक क्रूसिबल
â अन्य कस्टम सिरेमिक भाग