वेफर कैरियर ट्रे

सेमीकोरेक्स आपके OEM सेमी फैब्रिकेशन टूल्स और सेमीकंडक्टर उद्योगों में सिलिकॉन कार्बाइड परतों पर ध्यान केंद्रित करने वाले वेफर हैंडलिंग घटकों के लिए सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरेमिक प्रदान करता है। हम कई वर्षों से वेफर कैरियर ट्रे के निर्माता और आपूर्तिकर्ता रहे हैं। हमारे वेफर कैरियर ट्रे की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह अधिकांश यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करती है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

न केवल पतली फिल्म जमाव चरणों जैसे एपिटैक्सी या एमओसीवीडी, या वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण के लिए, सेमीकोरेक्स वेफर्स का समर्थन करने के लिए उपयोग किए जाने वाले अल्ट्रा-शुद्ध सिरेमिक वाहक की आपूर्ति करता है। प्रक्रिया के मूल में, एमओसीवीडी के लिए वेफर कैरियर ट्रे को पहले जमाव वातावरण के अधीन किया जाता है, इसलिए इसमें उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध होता है। SiC लेपित वाहक में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण भी होते हैं।
हमारे वेफर कैरियर ट्रे के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

वेफर कैरियर ट्रे के पैरामीटर

तकनीकी गुण
अनुक्रमणिका	इकाई	कीमत
सामग्री का नाम		रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	दबाव रहित सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड
संघटन		आरबीएसआईसी	एसएसआईसी	आर-SiC
थोक घनत्व	जी/सेमी3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
आनमनी सार्मथ्य	एमपीए (केपीएसआई)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
सम्पीडक क्षमता	एमपीए (केपीएसआई)	1120(158)	3970(560)	> 600
कठोरता	बटन	2700	2800	/
दृढ़ता को तोड़ना	एमपीए एम1/2	4.5	4	/
ऊष्मीय चालकता	डब्ल्यू/एम.के	95	120	23
थर्मल विस्तार का गुणांक	10^-6.1/डिग्री सेल्सियस	5	4	4.7
विशिष्ट ऊष्मा	जूल/जी 0k	0.8	0.67	/
हवा में अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मापांक	जीपीए	360	410	240

एसएसआईसीसी और आरबीएसआईसीसी के बीच अंतर:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। आरबीएसआईसी को कम तापमान पर सिलिकॉन कार्बाइड में मुक्त सी को घुसपैठ करना है, एसएसआईसीसी 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन से बनता है।

2. SSiC में चिकनी सतह, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति होती है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।

3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया गया समय, SSiC, RBSiC से अधिक लंबा है

वेफर कैरियर ट्रे की विशेषताएं

- सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग।
- उच्च प्रदर्शन वाले शुद्ध कठोर कार्बन से बना थर्मल इन्सुलेशन।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- पिनहोल प्रतिरोध और उच्च जीवनकाल के लिए उच्च शुद्धता ग्रेफाइट और SiC कोटिंग

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के उपलब्ध आकार：

● सिरेमिक रॉड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लंजर

● सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव

● सिरेमिक रिंग / सिरेमिक वॉशर / सिरेमिक स्पेसर

● सिरेमिक डिस्क

● सिरेमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक

● सिरेमिक बॉल

● सिरेमिक पिस्टन

● सिरेमिक नोजल

● सिरेमिक क्रूसिबल

● अन्य कस्टम सिरेमिक हिस्से