सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड

उन्नत नक़्क़ाशी उपकरण के दौरान, सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड आमतौर पर नक़्क़ाशी कक्ष के शीर्ष पर अर्धचालक वेफर की ओर रखा जाता है। सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड आमतौर पर उच्च परिशुद्धता नक़्क़ाशी के लिए इष्टतम परिचालन स्थिति प्रदान करने के लिए इलेक्ट्रोस्टैटिक चक, सी फोकस रिंग, सी एज रिंग, सी एग्जॉस्ट रिंग और सी शील्डिंग रिंग के साथ मिलकर काम करता है।

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड के कार्य

1. जटिल 3डी संरचना नक़्क़ाशी के साथ संगत

असाधारण 3डी विद्युत क्षेत्र नियंत्रण क्षमता के साथ, सेमीकोरेक्ससिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोडजटिल संरचनाओं की ज्यामितीय विशेषताओं से पूरी तरह मेल खा सकता है। विशेष घुमावदार डिज़ाइन सटीक प्लाज्मा नियंत्रण और अनुकूलित ऊर्जा वितरण को सक्षम बनाता है, जो 3डी संरचना नक़्क़ाशी के पहलू अनुपात और साइडवॉल ऊर्ध्वाधरता को महत्वपूर्ण रूप से प्रभावित करता है और उन्नत पैकेजिंग प्रक्रियाओं और 3डी आईसी एकीकरण की उत्पादन लाइन आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करता है।

2. ईच गैस वितरण का सटीक नियंत्रण

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड में नक़्क़ाशी कक्ष में प्रवेश करने के लिए नक़्क़ाशी गैस के लिए उनकी सतह पर कई समान रूप से वितरित सूक्ष्म छेद होते हैं। सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड ईच गैस पर सटीक नियंत्रण प्राप्त कर सकते हैं और इसे ईचिंग कक्ष में समान रूप से वितरित करने की अनुमति दे सकते हैं, जिससे गैर-समान गैस वितरण के कारण होने वाली प्रक्रिया भिन्नताएं कम हो जाती हैं।

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड के लाभ

1. अति उच्च शुद्धता

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड अल्ट्रा-हाई-प्योरिटी सिंगल-क्रिस्टल से बने होते हैंसिलिकॉन99.9999999% से ऊपर शुद्धता स्तर के साथ, प्लाज्मा क्षरण के लिए बेहतर प्रतिरोध प्रदान करता है। यह उच्च-मानक सामग्री चयन प्रभावी ढंग से नक़्क़ाशी उप-उत्पादों के परिणामस्वरूप होने वाले अवांछित संदूषण से बच सकता है, जबकि सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड की सेवा जीवन को भी महत्वपूर्ण रूप से बढ़ा सकता है।

2. उत्कृष्ट विद्युत गुण

एमसीजेड-विकसित सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन से निर्मित, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड शानदार प्रतिरोधकता एकरूपता प्रदर्शित करते हैं: ＜5%, और एक व्यापक चयन योग्य प्रतिरोधकता रेंज: कम रेज। (<0.02), मध्य रेस। (1-4), और उच्च रिज़ॉल्यूशन। (70-90)।

3. सटीक प्रसंस्करण सटीकता

उच्च परिशुद्धता यांत्रिक प्रसंस्करण के माध्यम से, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन घुमावदार इलेक्ट्रोड लगातार छिद्र आकार और समान छेद वितरण प्राप्त करते हैं। उनकी सतहों को बारीक पॉलिश किया जाता है और पीस दिया जाता है: पॉलिश (रा <0.1 μm) और ग्राउंड (Ra < 1.6 μm), समग्र मशीनिंग परिशुद्धता को 0.03 मिमी के भीतर नियंत्रित किया जाता है।