Sic लेपित वेफर वाहक

अर्धविराम एसआईसी कोटेड वेफर वाहक उन्नत घटक हैं जो अर्धचालक अनुप्रयोगों जैसे एपिटैक्सियल ग्रोथ, डिफ्यूजन और सीवीडी में उच्च तापमान प्रक्रियाओं के लिए वेफर्स का समर्थन करते हैं। वाहक घने और समान का उपयोग करके अधिकतम सतह लाभ के साथ संयुक्त उच्च शुद्धता ग्रेफाइट से संरचनात्मक लाभ प्रदान करते हैंसीसी कोटिंगइष्टतम थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध और कठिन प्रसंस्करण स्थितियों के तहत यांत्रिक शक्ति के लिए।

इष्टतम तापीय चालकता के लिए उच्च शुद्धता ग्रेफाइट कोर

Sic लेपित वेफर वाहक अल्ट्रा-फाइन अनाज, उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट की एक सब्सट्रेट सामग्री हैं। यह एक कुशल थर्मल कंडक्टर है, जो प्रकाश और मशीनिंग दोनों होने के नाते, इसे जटिल ज्यामितीय में गढ़ा जा सकता है जो कि अद्वितीय वेफर आकार और प्रक्रिया कारकों द्वारा आवश्यक होते हैं। ग्रेफाइट वेफर सतह पर एक समान हीटिंग प्रदान करता है जो थर्मल ग्रेडिएंट्स और थर्मल प्रोसेसिंग दोषों की घटना को सीमित करता है।

सतह संरक्षण और प्रक्रिया संगतता के लिए घने sic कोटिंग

ग्रेफाइट वाहक को उच्च शुद्धता, सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड के साथ लेपित किया जाता है। एसआईसी कोटिंग हाइड्रोजन, क्लोरीन और सिलेन जैसी प्रजातियों से जंग, ऑक्सीकरण और प्रक्रिया गैस संदूषण के खिलाफ अभेद्य, छिद्र मुक्त सुरक्षा प्रदान करता है। अंतिम परिणाम एक कम-पार्टिकुलेट, कठिन वाहक है जो आयामी स्थिरता को नीचा या खो नहीं देता है, कई थर्मल चक्रों के अधीन चुनता है और वेफर संदूषण के लिए काफी कम क्षमता का प्रतिनिधित्व करता है।

लाभ और प्रमुख विशेषताएं

थर्मल प्रतिरोध: एसआईसी कोटिंग्स 1600 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान के लिए स्थिर हैं, जो उच्च तापमान एपिटैक्सी और प्रसार की जरूरतों के लिए अनुकूलित है।

उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोधी: यह सभी संक्षारक प्रक्रिया गैसों और सफाई रसायनों का सामना करता है, और लंबे समय तक जीवन और कम डाउनटाइम के लिए अनुमति देता है।

कम कण पीढ़ी: एसआईसी की सतह फ्लेकिंग और कण शेडिंग को कम करती है, और डिवाइस की उपज के लिए महत्वपूर्ण प्रक्रिया वातावरण को साफ करती है।

आयाम नियंत्रण: एक समान वेफर समर्थन सुनिश्चित करने के लिए सहिष्णुता को बंद करने के लिए सटीक रूप से इंजीनियर किया जाता है ताकि इसे स्वचालित रूप से वेफर्स के साथ संभाला जा सके।

लागत में कमी: लंबे समय तक जीवन चक्र और कम रखरखाव की जरूरत पारंपरिक ग्रेफाइट या नंगे वाहक की तुलना में स्वामित्व की कम कुल लागत (TCO) प्रदान करती है।

आवेदन:

एसआईसी कोटेड वेफर वाहक व्यापक रूप से पावर सेमीकंडक्टर्स, कंपाउंड सेमीकंडक्टर्स (जैसे कि GAN, SIC), MEMS, LEDs और अन्य उपकरणों के निर्माण में उपयोग किए जाते हैं, जिनमें आक्रामक रासायनिक वातावरण में उच्च तापमान प्रसंस्करण की आवश्यकता होती है। वे विशेष रूप से एपिटैक्सियल रिएक्टरों में आवश्यक हैं, जहां सतह की सफाई, स्थायित्व और थर्मल एकरूपता सीधे वेफर गुणवत्ता और उत्पादन दक्षता को प्रभावित करती है।

अनुकूलन और गुणवत्ता नियंत्रण

अर्धविरामसिसक लेपितवेफर वाहक सख्त गुणवत्ता नियंत्रण प्रोटोकॉल के तहत उत्पादित किए जाते हैं। हमारे पास मानक आकार और कॉन्फ़िगरेशन के साथ लचीलापन भी है, और हम कस्टम इंजीनियर समाधान कर सकते हैं जो ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा करते हैं। चाहे आपके पास 4-इंच या 12-इंच वेफर प्रारूप हो, हम क्षैतिज या ऊर्ध्वाधर रिएक्टरों, बैच या एकल वेफर प्रसंस्करण और विशिष्ट एपिटैक्सी व्यंजनों के लिए वेफर वाहक को अनुकूलित कर सकते हैं।