उच्च गुणवत्ता वाले एपिटेक्सी और एमओसीवीडी प्रक्रियाओं के लिए पीएसएस प्रक्रिया के लिए सेमीकोरेक्स का आईसीपी प्लाज्मा एचिंग सिस्टम चुनें। हमारा उत्पाद विशेष रूप से इन प्रक्रियाओं के लिए इंजीनियर किया गया है, जो बेहतर गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है। साफ और चिकनी सतह के साथ, हमारा कैरियर प्राचीन वेफर्स को संभालने के लिए बिल्कुल उपयुक्त है।
पीएसएस प्रक्रिया के लिए सेमीकोरेक्स का आईसीपी प्लाज्मा एचिंग सिस्टम वेफर हैंडलिंग और पतली फिल्म जमाव प्रक्रियाओं के लिए उत्कृष्ट गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है। हमारी बढ़िया SiC क्रिस्टल कोटिंग एक साफ और चिकनी सतह प्रदान करती है, जो प्राचीन वेफर्स की इष्टतम हैंडलिंग सुनिश्चित करती है।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। पीएसएस प्रक्रिया के लिए हमारी आईसीपी प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणाली का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।
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पीएसएस प्रक्रिया के लिए आईसीपी प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणाली के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-CVD गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
उर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
पीएसएस प्रक्रिया के लिए आईसीपी प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणाली की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें