सेमीकोरेक्स का आईसीपी सिलिकॉन कार्बन कोटेड ग्रेफाइट वेफर हैंडलिंग और पतली फिल्म जमाव प्रक्रियाओं की मांग के लिए आदर्श विकल्प है। हमारा उत्पाद बेहतर गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध, यहां तक कि थर्मल एकरूपता और इष्टतम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न का दावा करता है।
एपिटैक्सियल विकास प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले वेफर वाहक को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई को सहन करना होगा। सेमीकोरेक्स आईसीपी सिलिकॉन कार्बन कोटेड ग्रेफाइट रिसेप्टर्स विशेष रूप से इन मांग वाले एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगों के लिए इंजीनियर किए गए हैं। हमारा उत्पाद उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जो दीर्घायु और इष्टतम परिणाम सुनिश्चित करता है।
हमारे आईसीपी सिलिकॉन कार्बन कोटेड ग्रेफाइट को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
हमारे आईसीपी सिलिकॉन कार्बन कोटेड ग्रेफाइट के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।
आईसीपी सिलिकॉन कार्बन लेपित ग्रेफाइट के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
उर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
आईसीपी सिलिकॉन कार्बन लेपित ग्रेफाइट की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें