पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्स

पॉली-सी स्लॉटेड रिंग आमतौर पर उन्नत अर्धचालक नक़्क़ाशी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष में स्थापित की जाती हैं। वे सिलिकॉन सहित सिलिकॉन भागों के साथ सहक्रियात्मक रूप से काम करते हैंफोकस रिंग, सिलिकॉन बाहरी रिंग, और सिलिकॉनशावरहेड्स. ये भाग नक़्क़ाशी प्रक्रिया के लिए एक स्थिर और इष्टतम प्रतिक्रिया वातावरण बना सकते हैं, जिससे उत्कृष्टता सुनिश्चित होती हैएचिंगपरिशुद्धता और प्रक्रिया स्थिरता।

सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्स के कार्य

1. सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्स कई समान रूप से वितरित स्लॉट्स से सुसज्जित हैं जो गैस मार्ग के रूप में काम करते हैं, जो प्रतिक्रिया के बाद प्रक्रिया गैसों के सुचारू निकास की अनुमति देते हैं।

2. सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग उत्कृष्ट प्लाज्मा नियंत्रण प्राप्त करने में सक्षम हैं, जो सेमीकंडक्टर नक़्क़ाशी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष के लिए विश्वसनीय सुरक्षा प्रदान करते हैं।

3. सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग विद्युत क्षेत्र और चैम्बर दबाव को समायोजित करने में मदद कर सकते हैं, इस प्रकार अस्थिरता को नक़्क़ाशी प्रक्रिया की स्थिरता को प्रभावित करने से रोक सकते हैं।

उच्च मानक सामग्री चयन

सेमीकोरेक्स पॉली-सी स्लॉटेड रिंग्स 99.9999% से अधिक की शुद्धता के स्तर के साथ उच्च गुणवत्ता वाले पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन से निर्मित होते हैं, जो उन्हें निम्नानुसार बेहतर गुणों से संपन्न करता है।

1. अति उच्च शुद्धता और अत्यंत कम अशुद्धता सामग्री।

2. असाधारण प्लाज्मा संक्षारण प्रतिरोध।

3. अनुकूल विद्युत गुण, प्रतिरोध एकरूपता के साथ: आरआरजी ≤ 5%, कम रेज। (<0.02), मध्य रेस। (1-4), और उच्च रिज़ॉल्यूशन। (70-90)।

विनिर्माण क्षमताएं और गुणवत्ता नियंत्रण

उन्नत मशीनिंग उपकरण और एक अनुभवी तकनीकी टीम से सुसज्जित, सेमीकोरेक्स प्रत्येक उत्पादन प्रक्रिया को सख्ती से नियंत्रित करता है और हमारे मूल्यवान ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता और अच्छी तरह से मेल खाने वाली पॉली-सी स्लॉटेड रिंग प्रदान करता है। इसके अलावा, सेमीकोरेक्स तैयार पॉली-सी स्लॉटेड रिंगों पर आयामी माप, प्रतिरोधकता परीक्षण और दृश्य निरीक्षण पर सख्त नियंत्रण रखता है ताकि उन्हें चिप्स, खरोंच, दरार और दाग जैसे दोषों से मुक्त किया जा सके।