वैक्यूम चक

अर्धविराम वैक्यूम चक सटीक-इंजीनियर समाधान हैं जो अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में वेफर्स के सुरक्षित, स्थिर और कुशल हैंडलिंग प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। इन वैक्यूम चक का उपयोग मुख्य रूप से विभिन्न प्रसंस्करण चरणों के दौरान वेफर्स को रखने के लिए किया जाता है, जिससे वेफर्स को न्यूनतम नुकसान, अधिकतम स्थिरता और बढ़ाया प्रक्रिया दक्षता सुनिश्चित होती है। हमारे वैक्यूम चक विभिन्न प्रकार की आधार सामग्री और सिरेमिक प्लेटों में उपलब्ध हैं, जो अर्धचालक उद्योग और अन्य सटीक उद्योगों की विविध आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सिलवाया समाधान प्रदान करते हैं।

प्रमुख विशेषताएं और सामग्री

अर्धविराम वैक्यूम चक के लिए आधार सामग्री विकल्पों की एक श्रृंखला प्रदान करता है, जो विशिष्ट अनुप्रयोग आवश्यकताओं के आधार पर अनुकूलन की अनुमति देता है:

आधार सामग्री:

• SUS430: एक स्टेनलेस स्टील बेस सामग्री अपनी ताकत और संक्षारण प्रतिरोध के लिए जाना जाता है, जो उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता प्रदान करता है।
• एल्यूमीनियम मिश्र धातु 6061: लाइटवेट अभी तक मजबूत है, यह एल्यूमीनियम आधार उच्च संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है और अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है जहां वजन एक चिंता का विषय है।
• एल्यूमिना सिरेमिक (99% एल्यूमिना): उच्च थर्मल स्थिरता प्रदान करता है और प्रतिरोध पहनता है। यह उच्च-सटीक वातावरण के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प है जहां थर्मल प्रतिरोध महत्वपूर्ण है।
• ग्रेनाइट: अपनी कठोरता और बेहतर कंपन-डैंपिंग गुणों के लिए जाना जाता है, ग्रेनाइट वेफर हैंडलिंग के दौरान उत्कृष्ट स्थिरता और सटीकता प्रदान करता है।
• सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) सिरेमिक: उच्च कठोरता, थर्मल चालकता और रासायनिक संक्षारण के लिए प्रतिरोध प्रदान करता है। यह उच्च तापमान और आक्रामक वातावरण के लिए एकदम सही है।

सिरेमिक प्लेटें:

एल्यूमिना (Al₂o₃): एल्यूमिना प्लेटें उनके उच्च विद्युत इन्सुलेशन गुणों, पहनने के प्रतिरोध और उच्च तापमान स्थिरता के लिए जानी जाती हैं। वे ऐसे वातावरण के लिए उपयुक्त हैं जहां न्यूनतम संदूषण और उच्च प्रदर्शन महत्वपूर्ण हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी): एसआईसी सिरेमिक प्लेटें असाधारण कठोरता, उच्च तापीय चालकता और ऊंचे तापमान पर स्थिरता प्रदान करती हैं, जिससे वे अर्धचालक उत्पादन में उन्नत वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए आदर्श बन जाते हैं।

समतलता सटीक और सामग्री चयन

चक की सतह का सपाटता उचित वेफर हैंडलिंग और इष्टतम प्रक्रिया परिणाम सुनिश्चित करने में एक महत्वपूर्ण कारक है। सामग्री की पसंद फ्लैटनेस सटीकता को प्रभावित करती है, साथ ही साथ वैक्यूम चक के समग्र वजन और थर्मल गुणों को भी प्रभावित करता है।

सपाटता परिशुद्धता:

एल्यूमीनियम मिश्र धातु 6061: सटीकता के साथ उत्कृष्ट सपाटता प्रदान करता है, जिससे यह कम मांग वाले वेफर हैंडलिंग कार्यों के लिए एक लोकप्रिय विकल्प बन जाता है।

SUS430: ठोस यांत्रिक स्थिरता की पेशकश करते समय, SUS430 में एल्यूमीनियम मिश्र धातु की तुलना में थोड़ा कम सपाटता सटीकता है।

एल्यूमिना सिरेमिक (99% एल्यूमिना): उच्च तापमान और यांत्रिक तनाव के तहत इसकी उच्च आयामी स्थिरता के कारण सबसे अच्छी सपाटता सटीकता प्रदान करता है।

ग्रेनाइट: अपनी स्थिरता के लिए जाना जाता है, ग्रेनाइट सटीक सपाटता प्रदान करता है, विशेष रूप से कंपन-संवेदनशील वातावरण में।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक: उत्कृष्ट सपाटता सटीकता प्रदान करता है और उच्च-तापमान अनुप्रयोगों में उच्च परिशुद्धता वेफर हैंडलिंग के लिए आदर्श है।

भार विचार

वैक्यूम चक का वजन एक और महत्वपूर्ण कारक है, विशेष रूप से उन अनुप्रयोगों के लिए जहां चक की हैंडलिंग और हेरफेर में आसानी एक महत्वपूर्ण विचार है।