सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए गैस इनलेट रिंग

सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए सेमीकोरेक्स गैस इनलेट रिंग SiC लेपित है, जो एक सघन, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग है। इसमें उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोधी गुणों के साथ-साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता भी है। हम रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में SiC लगाते हैं।

सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए हमारी गैस इनलेट रिंग को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।

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सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए गैस इनलेट रिंग के पैरामीटर

सेमीकंडक्टर उपकरण के लिए गैस इनलेट रिंग की विशेषताएं

● उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट

● बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता

● चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित

● रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व

● सामग्री को डिज़ाइन किया गया है ताकि दरारें और प्रदूषण न हो।