सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट, प्रिसिजन मशीन्ड हाई प्योरिटी ग्रेफाइट का एक अग्रणी स्वतंत्र स्वामित्व वाला निर्माता है जो सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक, सेमीकंडक्टर निर्माण के एमओसीवीपी क्षेत्रों पर ध्यान केंद्रित करता है। हमारे SiC कोटेड वेफर हीटर की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
सेमीकोरेक्स SiC कोटेड वेफर हीटर उच्च तापमान भट्टी में निष्क्रिय वातावरण में 3000 डिग्री सेल्सियस से अधिक, वैक्यूम में 2200 डिग्री सेल्सियस पर काम कर सकता है। उच्च शुद्धता वाला SiC कोटेड वेफर हीटर बेहतर गर्मी प्रतिरोध, लगातार एपि परत की मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है। बारीक SiC क्रिस्टल कोटिंग एक साफ, चिकनी सतह प्रदान करती है, जो संभालने के लिए महत्वपूर्ण है क्योंकि प्राचीन वेफर्स अपने पूरे क्षेत्र में कई बिंदुओं पर रिसेप्टर से संपर्क करते हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी SiC लेपित वेफर हीटर प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
SiC लेपित वेफर हीटर के पैरामीटर
तकनीकी विशिष्टता |
VET-M3 |
थोक घनत्व (जी/सेमी3) |
≥1.85 |
राख सामग्री (पीपीएम) |
≤500 |
किनारों का कड़ापन |
≥45 |
विशिष्ट प्रतिरोध (μ.Ω.m) |
≤12 |
लचीली ताकत (एमपीए) |
≥40 |
संपीड़न शक्ति (एमपीए) |
≥70 |
अधिकतम. अनाज का आकार (μm) |
≤43 |
तापीय विस्तार गुणांक एमएम/डिग्री सेल्सियस |
≤4.4*10-6 |
SiC कोटेड वेफर हीटर की विशेषताएं
- उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
- बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
- चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
- रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
- सामग्री को डिज़ाइन किया गया है ताकि दरारें और प्रदूषण न हो।