सिलिकॉन कार्बाइड चैंबर ढक्कन

क्रिस्टल विकास और वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड चैंबर ढक्कन को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई को सहन करना चाहिए। सेमीकोरेक्स चीन में सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। हमारे उत्पादों की कीमत में अच्छी बढ़त है और ये कई यूरोपीय और अमेरिकी बाज़ारों को कवर करते हैं। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ या एमओसीवीडी, या वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड चैंबर ढक्कन को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई को सहन करना होगा। सेमीकोरेक्स उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माण की आपूर्ति करता है जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध, लगातार एपि परत की मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है। वे अस्थिर पूर्ववर्ती गैसों, प्लाज्मा और उच्च तापमान के संयोजन का अनुभव करने के लिए टिकाऊ हैं।
हमारे सिलिकॉन कार्बाइड चैंबर ढक्कन को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
हमारे सिलिकॉन कार्बाइड चैंबर ढक्कन के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

सिलिकॉन कार्बाइड चैंबर ढक्कन के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-CVD गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे·किलो-1 ·के-1	640
ऊर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300