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बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल जमाव

बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल जमाव

यदि आपको सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए उच्च-प्रदर्शन वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की आवश्यकता है, तो बैरल रिएक्टर में सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन आदर्श विकल्प है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और असाधारण थर्मल चालकता बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, जो इसे सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन के लिए पसंदीदा विकल्प बनाती है।

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उत्पाद वर्णन

बैरल रिएक्टर में सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन वेफर चिप्स पर एपिक्सियल परतों को बढ़ाने के लिए एक आदर्श उत्पाद है। यह एक उच्च शुद्धता वाला SiC लेपित ग्रेफाइट वाहक है जो गर्मी और संक्षारण के प्रति अत्यधिक प्रतिरोधी है, जो इसे चरम वातावरण में उपयोग के लिए एकदम सही बनाता है। यह बैरल ससेप्टर एलपीई के लिए उपयुक्त है, और यह थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन प्रदान करता है। इसके अतिरिक्त, यह सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देता है और संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है।

सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। बैरल रिएक्टर में हमारे सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।


बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल जमाव के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ

SiC-CVD गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी/सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

माइक्रोन

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

जे किग्रा-1 के-1

640

उर्ध्वपातन तापमान

2700

फेलेक्सुरल ताकत

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)

430

थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू/एमके)

300


बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल जमाव की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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