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बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन

बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन

यदि आपको सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए एक उच्च-प्रदर्शन ग्रेफाइट संवेदक की आवश्यकता है, तो सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन इन बैरल रिएक्टर आदर्श विकल्प है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और असाधारण तापीय चालकता बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, जिससे यह सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन के लिए पसंदीदा विकल्प बन जाता है।

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उत्पाद वर्णन

बैरल रिएक्टर में सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन वेफर चिप्स पर एपिक्सियल परतों को उगाने के लिए एक आदर्श उत्पाद है। यह एक उच्च शुद्धता वाला SiC कोटेड ग्रेफाइट कैरियर है जो गर्मी और जंग के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी है, जो इसे चरम वातावरण में उपयोग के लिए एकदम सही बनाता है। यह बैरल ससेप्टर एलपीई के लिए उपयुक्त है, और यह थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करते हुए उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन प्रदान करता है। इसके अतिरिक्त, यह सर्वोत्तम लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देता है और संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है।

सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। बैरल रिएक्टर में हमारे सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हम आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना चाहते हैं, लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हैं।


बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश

सीआईसी-सीवीडी गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी / सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

मैं

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

J·kg-1 ·K-1

640

उच्च बनाने की क्रिया तापमान

2700

फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

Gpa (4pt बेंड, 1300â)

430

थर्मल विस्तार (सीटीई)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू / एमके)

300


बैरल रिएक्टर में सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।

- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।

- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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