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कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर

कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर

सेमीकोरेक्स कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर एक प्रीमियम गुणवत्ता वाला ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्धता वाले SiC के साथ लेपित है, जिसे विशेष रूप से LPE प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। उत्कृष्ट गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध के साथ, यह उत्पाद अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए बिल्कुल उपयुक्त है।

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उत्पाद वर्णन

यदि आप सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिटैक्सियल परत के निर्माण के लिए उच्च-प्रदर्शन वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की तलाश कर रहे हैं, तो सेमीकोरेक्स कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर एक उत्कृष्ट विकल्प है। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग बेहतर गर्मी वितरण और थर्मल चालकता प्रदान करती है, यहां तक ​​कि सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान वाले वातावरण में भी असाधारण प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।

सेमीकोरेक्स में, हम उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।


कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ

SiC-CVD गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी/सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

माइक्रोन

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

जे किग्रा-1 के-1

640

ऊर्ध्वपातन तापमान

2700

फेलेक्सुरल ताकत

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)

430

थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू/एमके)

300


कार्बाइड-लेपित रिएक्टर बैरल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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