सिलिकॉन कार्बाइड SiC लेपित बैरल सुसेप्टर

सेमीकोरेक्ससिलिकॉन कार्बाइड SiC लेपित बैरल सुसेप्टरउच्च शुद्ध SiC से लेपित एक ग्रेफाइट उत्पाद है, जिसमें उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है। यह एलपीई के लिए उपयुक्त है.सिलिकन कार्बाइडSiC कोटेड बैरल ससेप्टर का उपयोग उन प्रक्रियाओं में किया जाता है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिक्सियल परत बनाते हैं, जिसमें उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

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के पैरामीटरसिलिकॉन कार्बाइड SiC लेपितबैरल रिसीवर

की विशेषताएंसिलिकॉन कार्बाइड SiC लेपितबैरल रिसीवर

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।