एपिटैक्सियल रिएक्टर चैंबर के लिए SiC-कोटेड ससेप्टर बैरल

एपिटैक्सियल रिएक्टर चैंबर के लिए सेमीकोरेक्स का SiC-कोटेड ससेप्टर बैरल एक प्रीमियम गुणवत्ता वाला उत्पाद है, जो परिशुद्धता और स्थायित्व के उच्चतम मानकों के लिए निर्मित होता है। यह उत्कृष्ट तापीय चालकता, संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है, और सेमीकंडक्टर निर्माण में अधिकांश एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए अत्यधिक उपयुक्त है।
एपिटैक्सियल रिएक्टर चैंबर के लिए हमारा SiC-लेपित ससेप्टर बैरल थर्मल प्रोफ़ाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
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एपिटैक्सियल रिएक्टर चैंबर के लिए SiC-कोटेड ससेप्टर बैरल के पैरामीटर

एपिटैक्सियल रिएक्टर चैंबर के लिए SiC-कोटेड ससेप्टर बैरल की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।