सेमीकोरेक्स SiC कोटेड एपिटैक्सियल रिएक्टर बैरल एक उच्च गुणवत्ता वाला ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्धता वाले SiC से लेपित है। इसका उत्कृष्ट घनत्व और तापीय चालकता इसे एलपीई प्रक्रियाओं में उपयोग के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है, जो संक्षारक और उच्च तापमान वाले वातावरण में असाधारण गर्मी वितरण और सुरक्षा प्रदान करती है।
जब सेमीकंडक्टर निर्माण की बात आती है, तो सेमीकोरेक्स SiC कोटेड एपिटैक्सियल रिएक्टर बैरल बेहतर प्रदर्शन और असाधारण गर्मी वितरण के लिए पसंदीदा विकल्प है। उच्च शुद्धता वाले SiC से लेपित, यह ग्रेफाइट उत्पाद उत्कृष्ट संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध प्रदान करता है, जिससे हर बार विश्वसनीय और सुसंगत परिणाम सुनिश्चित होते हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे SiC कोटेड एपिटैक्सियल रिएक्टर बैरल का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।
SiC लेपित एपिटैक्सियल रिएक्टर बैरल के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-CVD गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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Density |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
SiC लेपित एपिटैक्सियल रिएक्टर बैरल की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।