सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों के लिए सही विकल्प है जिनके लिए उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। इसकी असाधारण तापीय चालकता और ताप वितरण गुण इसे एलपीई प्रक्रियाओं और अन्य उच्च तापमान वाले वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बनाते हैं।

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उत्पाद वर्णन

जब सेमीकंडक्टर निर्माण की बात आती है, तो असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता के लिए सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल शीर्ष विकल्प है। इसकी उच्च गुणवत्ता वाली SiC कोटिंग और बेहतर घनत्व और तापीय चालकता सबसे चुनौतीपूर्ण उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में भी बेहतर गर्मी वितरण और सुरक्षा प्रदान करती है।

हमारा सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल एक समान थर्मल प्रोफ़ाइल सुनिश्चित करता है, जो सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देता है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है, जिससे यह साफ-सुथरे वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बन जाता है। सेमीकोरेक्स चीन में SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का एक बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है, और हमारे उत्पादों को अच्छी कीमत का लाभ मिलता है। हम सेमीकंडक्टर उद्योग में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-CVD Properties
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
ऊर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300

सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।