सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-कोटेड ग्रेफाइट बैरल सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही विकल्प है, जिसके लिए उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। इसकी असाधारण तापीय चालकता और गर्मी वितरण गुण इसे एलपीई प्रक्रियाओं और अन्य उच्च तापमान वाले वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बनाते हैं।
जब सेमीकंडक्टर निर्माण की बात आती है, तो असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता के लिए सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल शीर्ष पसंद है। इसकी उच्च गुणवत्ता वाली SiC कोटिंग और बेहतर घनत्व और तापीय चालकता सबसे चुनौतीपूर्ण उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में भी बेहतर गर्मी वितरण और सुरक्षा प्रदान करती है।
हमारे सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल एक समान थर्मल प्रोफ़ाइल सुनिश्चित करते हैं, सर्वोत्तम लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देते हैं। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है, जिससे यह क्लीनरूम वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बन जाता है। सेमीकोरेक्स चीन में SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है, और हमारे उत्पादों को अच्छी कीमत का लाभ है। हम सेमीकंडक्टर उद्योग में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।
सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
सिलिकॉन कार्बाइड-लेपित ग्रेफाइट बैरल की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।