अपने उच्च गलनांक, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध के साथ, सेमीकोरेक्स सीआईसी-लेपित एलपीई क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर एकल क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प है। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग उत्कृष्ट सपाटता और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, जिससे यह उच्च तापमान वातावरण के लिए एक आदर्श विकल्प बन जाता है।
सेमीकोरेक्स सीआईसी-लेपित एलपीई क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिक्सियल परत गठन के लिए एकदम सही विकल्प है, इसकी असाधारण तापीय चालकता और गर्मी वितरण गुणों के लिए धन्यवाद। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में भी बेहतर सुरक्षा प्रदान करती है।
हमारे सीआईसी-लेपित एलपीई क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर को थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करने, सर्वोत्तम लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करता है।
हमारे सीआईसी-कोटेड एलपीई क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर के बारे में अधिक जानने के लिए आज हमसे संपर्क करें।
सीआईसी-लेपित एलपीई क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
||
सीआईसी-सीवीडी गुण |
||
क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
|
घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
सीआईसी-कोटेड एलपीई क्रिस्टल ग्रोथ ससेप्टर की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।