सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ICP एचिंग कैरियर को विशेष रूप से चीन में उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध वाले एपिटाक्सी उपकरण के लिए इंजीनियर किया गया है। हमारे उत्पादों का अच्छा मूल्य लाभ है और कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम चीन में आपके दीर्घकालिक साझेदार बनने की आशा करते हैं।
एपिटैक्सी या एमओसीवीडी जैसे पतली फिल्म निक्षेपण चरणों में उपयोग किए जाने वाले वेफर वाहक, या नक़्क़ाशी जैसे वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण को उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना करना पड़ता है। Semicorex उच्च शुद्धता SiC लेपित ICP नक़्क़ाशी वाहक की आपूर्ति करता है जो बेहतर गर्मी प्रतिरोध प्रदान करता है, लगातार एपि परत की मोटाई और प्रतिरोध, और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता भी प्रदान करता है। फाइन SiC क्रिस्टल कोटिंग एक साफ, चिकनी सतह प्रदान करती है, जो संभालने के लिए महत्वपूर्ण है क्योंकि प्राचीन वेफर्स अपने पूरे क्षेत्र में कई बिंदुओं पर संवेदक से संपर्क करते हैं।
हमारे SiC कोटेड ICP नक़्क़ाशी वाहक को थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करने के लिए सर्वश्रेष्ठ लामिना गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करता है।
हमारे SiC कोटेड ICP एचिंग कैरियर के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।
SiC लेपित ICP नक़्क़ाशी वाहक के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
उच्च शुद्धता SiC लेपित ICP नक़्क़ाशी वाहक की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लामिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की गारंटी समता
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें