यदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए एक उच्च-प्रदर्शन ग्रेफाइट संवेदक की तलाश कर रहे हैं, तो सेमीकोरेक्स सीआईसी लेपित ग्रेफाइट बैरल संवेदक आदर्श विकल्प है। इसकी असाधारण तापीय चालकता और गर्मी वितरण गुण इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन के लिए पसंद करते हैं।
सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही विकल्प है, जिसके लिए असाधारण ताप वितरण और तापीय चालकता की आवश्यकता होती है। इसकी उच्च शुद्धता वाली सीआईसी कोटिंग और बेहतर घनत्व बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करते हैं, यहां तक कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।
हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर को थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करने के लिए सर्वश्रेष्ठ लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करता है।
हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।
SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
||
सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
|
घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।