SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल सुसेप्टर

सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही विकल्प है जिसके लिए असाधारण गर्मी वितरण और तापीय चालकता की आवश्यकता होती है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और बेहतर घनत्व बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करते हैं, यहां तक ​​कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।

हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर को थर्मल प्रोफ़ाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।

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SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल सुसेप्टर के पैरामीटर

SiC लेपित ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।