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एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड बैरल ससेप्टर

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड बैरल ससेप्टर

अपने बेहतर घनत्व और तापीय चालकता के साथ, एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड बैरल ससेप्टर उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प है। उच्च शुद्धता वाले SiC से लेपित, यह ग्रेफाइट उत्पाद उत्कृष्ट सुरक्षा और गर्मी वितरण प्रदान करता है, जो सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।

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उत्पाद वर्णन

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड बैरल ससेप्टर सेमीकंडक्टर वेफर्स पर एपिक्सियल परत निर्माण के लिए सही विकल्प है, इसकी उत्कृष्ट थर्मल चालकता और गर्मी वितरण गुणों के लिए धन्यवाद। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में भी बेहतर सुरक्षा प्रदान करती है।

सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए हमारे SiC कोटेड बैरल ससेप्टर का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।


एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड बैरल ससेप्टर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ

SiC-CVD गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी/सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

माइक्रोन

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

जे किग्रा-1 के-1

640

ऊर्ध्वपातन तापमान

2700

फेलेक्सुरल ताकत

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)

430

थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू/एमके)

300


एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड बैरल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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