अपने उच्च गलनांक, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध के साथ, सेमीकोरेक्स SiC-लेपित बैरल ससेप्टर एकल क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए सही विकल्प है। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग असाधारण सपाटता और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, यहां तक कि सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान वाले वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।
सेमीकोरेक्स SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर एक उच्च गुणवत्ता वाला ग्रेफाइट उत्पाद है जो उच्च शुद्धता वाले SiC से लेपित है, जिसे विशेष रूप से LPE प्रक्रियाओं और अन्य सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसकी असाधारण घनत्व और तापीय चालकता उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में बेहतर गर्मी वितरण और सुरक्षा प्रदान करती है।
सेमीकोरेक्स में, हम उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी SiC-लेपित बैरल ससेप्टर प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
SiC-लेपित बैरल सुसेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-CVD गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।