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वेफर एपिटैक्सियल के लिए SiC लेपित बैरल ससेप्टर

वेफर एपिटैक्सियल के लिए SiC लेपित बैरल ससेप्टर

वेफर एपिटैक्सियल के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड बैरल ससेप्टर एकल क्रिस्टल विकास अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही विकल्प है, इसकी असाधारण सपाट सतह और उच्च गुणवत्ता वाली SiC कोटिंग के लिए धन्यवाद। इसका उच्च गलनांक, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में उपयोग के लिए एक आदर्श विकल्प बनाता है।

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क्या आप असाधारण ताप वितरण और तापीय चालकता वाले ग्रेफाइट सुसेप्टर की तलाश कर रहे हैं? एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं और अन्य सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में बेहतर प्रदर्शन के लिए उच्च शुद्धता वाले SiC के साथ लेपित, वेफर एपिटैक्सियल के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड बैरल ससेप्टर के अलावा और कुछ नहीं देखें।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। वेफर एपिटैक्सियल के लिए हमारे SiC कोटेड बैरल ससेप्टर का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।


वेफर एपिटैक्सियल के लिए SiC लेपित बैरल ससेप्टर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ

SiC-CVD गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी/सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

माइक्रोन

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

जे किग्रा-1 के-1

640

उर्ध्वपातन तापमान

2700

फेलेक्सुरल ताकत

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)

430

थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू/एमके)

300


वेफर एपिटैक्सियल के लिए SiC लेपित बैरल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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