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लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम

लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम

सेमीकोरेक्स लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम एक अभिनव उत्पाद है जो उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन, यहां तक ​​कि थर्मल प्रोफ़ाइल और बेहतर कोटिंग आसंजन प्रदान करता है। इसकी उच्च शुद्धता, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध इसे अर्धचालक उद्योग में उपयोग के लिए एक आदर्श विकल्प बनाते हैं। इसके अनुकूलन योग्य विकल्प और लागत-प्रभावशीलता इसे बाजार में अत्यधिक प्रतिस्पर्धी उत्पाद बनाती है।

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उत्पाद वर्णन

हमारा लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम एक अत्यधिक विश्वसनीय और टिकाऊ उत्पाद है जो पैसे के लिए उत्कृष्ट मूल्य प्रदान करता है। इसका उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, यहां तक ​​कि थर्मल प्रोफ़ाइल, और संदूषण की रोकथाम इसे उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल परत विकास के लिए आदर्श बनाती है। इसकी कम रखरखाव आवश्यकताएं और अनुकूलन क्षमता इसे बाजार में अत्यधिक प्रतिस्पर्धी उत्पाद बनाती है।

सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम की कीमत में बढ़त है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।

हमारे लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।


लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ

SiC-CVD गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी/सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

माइक्रोन

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

जे किग्रा-1 के-1

640

उर्ध्वपातन तापमान

2700

फेलेक्सुरल ताकत

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)

430

थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू/एमके)

300


लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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