यदि आपको असाधारण तापीय चालकता और ताप वितरण गुणों वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की आवश्यकता है, तो सेमीकोरेक्स इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपी सिस्टम के अलावा और कुछ न देखें। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में बेहतर सुरक्षा प्रदान करती है, जो इसे अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प बनाती है।
सेमीकोरेक्स इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपी सिस्टम सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही विकल्प है जिसके लिए असाधारण गर्मी वितरण और तापीय चालकता की आवश्यकता होती है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और बेहतर घनत्व बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करते हैं, यहां तक कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपी सिस्टम का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।
इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपी सिस्टम के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-CVD गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
उर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपी सिस्टम की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।