यदि आपको असाधारण तापीय चालकता और ऊष्मा वितरण गुणों वाले ग्रेफाइट संवेदक की आवश्यकता है, तो LPE एपिटैक्सी के लिए सेमीकोरेक्स इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपि सिस्टम से आगे नहीं देखें। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में बेहतर सुरक्षा प्रदान करती है, जिससे यह सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प बन जाता है।
एलपीई एपिटॉक्सी के लिए सेमीकोरेक्स इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपि सिस्टम सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों के लिए एकदम सही विकल्प है, जिसके लिए असाधारण ताप वितरण और तापीय चालकता की आवश्यकता होती है। इसकी उच्च शुद्धता वाली सीआईसी कोटिंग और बेहतर घनत्व बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करते हैं, यहां तक कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। एलपीई एपिटैक्सी के लिए हमारे इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपि सिस्टम का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हम आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना चाहते हैं, लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हैं।
एलपीई एपिटॉक्सी के लिए इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपि सिस्टम के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
||
सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी ² चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
एलपीई एपिटैक्सी के लिए इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपि सिस्टम की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।