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उच्च तापमान SiC-लेपित बैरल सुसेप्टर

उच्च तापमान SiC-लेपित बैरल सुसेप्टर

जब सेमीकंडक्टर निर्माण की बात आती है, तो बेहतर प्रदर्शन और विश्वसनीयता के लिए सेमीकोरेक्स हाई-टेम्परेचर SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर शीर्ष विकल्प है। इसकी उच्च गुणवत्ता वाली SiC कोटिंग और असाधारण तापीय चालकता इसे सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में भी उपयोग के लिए आदर्श बनाती है।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकोरेक्स हाई-टेम्परेचर SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ और अन्य सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों के लिए सही विकल्प है जिनके लिए उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, यहां तक ​​कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।

सेमीकोरेक्स में, हम उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी उच्च तापमान SiC-लेपित बैरल ससेप्टर प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।


उच्च तापमान SiC-लेपित बैरल सुसेप्टर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ

SiC-CVD गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी/सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

माइक्रोन

2~10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

जे किग्रा-1 के-1

640

उर्ध्वपातन तापमान

2700

फेलेक्सुरल ताकत

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)

430

थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू/एमके)

300


उच्च तापमान SiC-लेपित बैरल ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।




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