अपने उत्कृष्ट घनत्व और तापीय चालकता के साथ, सेमीकोरेक्स ड्यूरेबल SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं और अन्य सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, जो इसे विश्वसनीय और सुसंगत परिणामों के लिए पसंदीदा विकल्प बनाती है।
यदि आपको बेहतर गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध के साथ उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की आवश्यकता है, तो सेमीकोरेक्स ड्यूरेबल SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर के अलावा और कुछ न देखें। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग असाधारण थर्मल चालकता और गर्मी वितरण प्रदान करती है, यहां तक कि सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान वाले वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।
हमारे टिकाऊ SiC-लेपित बैरल ससेप्टर को थर्मल प्रोफ़ाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
हमारे टिकाऊ SiC-कोटेड बैरल ससेप्टर के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।
टिकाऊ SiC-लेपित बैरल सुसेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
टिकाऊ SiC-लेपित बैरल ससेप्टर की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।