अपने उत्कृष्ट घनत्व और तापीय चालकता के साथ, एलपीई के लिए सेमीकोरेक्स ड्यूरेबल सीआईसी-कोटेड बैरल ससेप्टर एलपीई प्रक्रियाओं और अन्य सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, जिससे यह विश्वसनीय और सुसंगत परिणामों के लिए पसंदीदा विकल्प बन जाता है।
यदि आपको बेहतर गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध के साथ उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेफाइट संवेदक की आवश्यकता है, तो LPE के लिए सेमीकोरेक्स टिकाऊ सीआईसी-लेपित बैरल संवेदक से आगे नहीं देखें। इसकी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग असाधारण तापीय चालकता और गर्मी वितरण प्रदान करती है, यहां तक कि सबसे अधिक मांग वाले उच्च तापमान वाले वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।
एलपीई के लिए हमारा टिकाऊ सीआईसी-लेपित बैरल संवेदक थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करने के लिए सर्वोत्तम लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करता है।
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एलपीई के लिए टिकाऊ सीआईसी-कोटेड बैरल ससेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
||
एसआईसी-सीवीडी गुण |
||
क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
|
घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे · किग्रा -1 · के -1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
एलपीई के लिए टिकाऊ सीआईसी-कोटेड बैरल ससेप्टर की विशेषताएं
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।
- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।
- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।