सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए बैरल संरचना

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए सेमीकोरेक्स बैरल स्ट्रक्चर उच्च प्रदर्शन वाले ग्रेफाइट ससेप्टर अनुप्रयोगों के लिए पसंदीदा विकल्प है जिसके लिए असाधारण गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और बेहतर घनत्व और तापीय चालकता बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, यहां तक ​​कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए हमारी बैरल संरचना को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।

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सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए बैरल संरचना के पैरामीटर

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए बैरल संरचना की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।

- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।