सेमीकंडक्टर एपीटैक्सियल रिएक्टर के लिए बैरल संरचना

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए सेमीकोरेक्स बैरल स्ट्रक्चर उच्च-प्रदर्शन ग्रेफाइट ससेप्टर अनुप्रयोगों के लिए जाना जाता है, जिसके लिए असाधारण गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध की आवश्यकता होती है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और बेहतर घनत्व और तापीय चालकता बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, यहां तक ​​कि सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।

सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए हमारी बैरल संरचना को थर्मल प्रोफाइल की समता सुनिश्चित करने के लिए सर्वश्रेष्ठ लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास को सुनिश्चित करता है।

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सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए बैरल संरचना के पैरामीटर

सेमीकंडक्टर एपीटैक्सियल रिएक्टर के लिए बैरल संरचना की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकता है।

- सिंगल क्रिस्टल ग्रोथ के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ससेप्टर में सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, क्रैकिंग और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी रूप से बंधन शक्ति में सुधार करें।

- दोनों ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण होते हैं।

- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।