अगली पीढ़ी की लिथोग्राफी और वेफर-हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए बिल्कुल सही, सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-शुद्ध सिरेमिक घटक न्यूनतम संदूषण सुनिश्चित करते हैं और असाधारण रूप से लंबे जीवन प्रदर्शन प्रदान करते हैं। हमारे वेफर वैक्यूम चक की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
सेमीकोरेक्स अल्ट्रा-फ्लैट सिरेमिक वेफर वैक्यूम चक वेफर हैंडलिंग प्रक्रिया में उपयोग करके उच्च शुद्धता वाला SiC लेपित है। एमओसीवीडी उपकरण द्वारा सेमीकंडक्टर वेफर वैक्यूम चक यौगिक वृद्धि में उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध होता है, जो चरम वातावरण में बहुत स्थिरता रखता है, और सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण के लिए उपज प्रबंधन में सुधार करता है। कम-सतह-संपर्क कॉन्फ़िगरेशन संवेदनशील अनुप्रयोगों के लिए बैक-साइड कणों के जोखिम को कम करता है।
सेमीकोरेक्स में, हम उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी वेफर वैक्यूम चक प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
वेफर वैक्यूम चक के पैरामीटर
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सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
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कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
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अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
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रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
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ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
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उर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
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फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
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यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
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थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
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ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
वेफर वैक्यूम चक की विशेषताएं
● अल्ट्रा-फ्लैट क्षमताएं
● दर्पण पॉलिश
● असाधारण हल्का वजन
● उच्च कठोरता
● कम तापीय विस्तार
● Φ 300 मिमी व्यास और उससे अधिक
● अत्यधिक घिसाव प्रतिरोध

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