वेफर प्रोसेस हीटर

सेमीकोरेक्स वेफर प्रोसेस हीटर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइट द्वारा बनाया गया है, कोटिंग को CVD विधि द्वारा उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट के विशिष्ट ग्रेड पर लागू किया जाता है, इसलिए यह एक निष्क्रिय वातावरण में 3000 °C से अधिक उच्च तापमान भट्टी में काम कर सकता है, वैक्यूम में 2200 डिग्री सेल्सियस।
वेफर प्रोसेस हीटर सामग्री के विशेष गुण और कम द्रव्यमान तेजी से ताप दर, समान तापमान वितरण और नियंत्रण में उत्कृष्ट परिशुद्धता की अनुमति देते हैं। तापमान में तेज बदलाव के साथ संचालित होने पर भी सिलिकॉन कार्बाइड की सतह कम तापीय विस्तार के कारण अन्य सामग्री की तुलना में सपाट रहती है। अर्धचालक प्रसंस्करण प्रणालियों में प्रक्रियाओं की मांग के लिए गर्म प्लेटें बहुत उपयुक्त हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे वेफर प्रोसेस हीटर का मूल्य लाभ है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हम आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना चाहते हैं, लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हैं।

वेफर प्रोसेस हीटर के पैरामीटर

वेफर प्रोसेस हीटर की विशेषताएं

- CVD SiC कोटिंग्स सेवा जीवन में सुधार करने के लिए।
- उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, लंबी सेवा जीवन, वेफर गुणवत्ता और उपज में सुधार कर सकते हैं।
- इसमें थर्मल विस्तार, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च पहनने के प्रतिरोध, अच्छा इन्सुलेशन, अच्छा रासायनिक स्थिरता और निकट-बैंगनी (लाल) दृश्य प्रकाश पैठ का बेहद कम गुणांक है।

हम एंटी-ऑक्सीकरण और लंबे जीवन काल ग्रेफाइट क्रूसिबल, ग्रेफाइट मोल्ड और ग्रेफाइट हीटर के सभी भागों को प्रदान कर सकते हैं।