सेमीकोरेक्स चीन में सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। हम सिलिकॉन कार्बाइड लेयर्स और एपिटेक्सी सेमीकंडक्टर जैसे सेमीकंडक्टर उद्योगों पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे वेफर प्रोसेस हीटर की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
सेमीकोरेक्स वेफर प्रोसेस हीटर सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइट द्वारा बनाया गया है, कोटिंग को CVD विधि द्वारा उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट के विशिष्ट ग्रेड पर लगाया जाता है, इसलिए यह निष्क्रिय वातावरण में 3000 डिग्री सेल्सियस से अधिक के साथ उच्च तापमान भट्टी में काम कर सकता है। निर्वात में 2200°C.
वेफर प्रोसेस हीटर सामग्री के विशेष गुण और कम द्रव्यमान तेज ताप दर, समान तापमान वितरण और नियंत्रण में उत्कृष्ट सटीकता की अनुमति देते हैं। अन्य सामग्रियों की तुलना में सिलिकॉन कार्बाइड की सतह तापमान में तेज बदलाव के साथ संचालित होने पर भी कम तापीय विस्तार के कारण सपाट रहती है। अर्धचालक प्रसंस्करण प्रणालियों में मांग प्रक्रियाओं के लिए हॉट प्लेट बहुत उपयुक्त हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी उत्पाद प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे वेफर प्रोसेस हीटर की कीमत बेहतर है और इसे कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में निर्यात किया जाता है। हमारा लक्ष्य लगातार गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनना है।
वेफर प्रोसेस हीटर के पैरामीटर
तकनीकी विशिष्टता |
VET-M3 |
थोक घनत्व (जी/सेमी3) |
≥1.85 |
राख सामग्री (पीपीएम) |
≤500 |
किनारों का कड़ापन |
≥45 |
विशिष्ट प्रतिरोध (μ.Ω.m) |
≤12 |
लचीली ताकत (एमपीए) |
≥40 |
संपीड़न शक्ति (एमपीए) |
≥70 |
अधिकतम. अनाज का आकार (μm) |
≤43 |
तापीय विस्तार गुणांक एमएम/डिग्री सेल्सियस |
≤4.4*10-6 |
वेफर प्रोसेस हीटर की विशेषताएं
- सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए CVD SiC कोटिंग्स।
- उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, लंबी सेवा जीवन, वेफर गुणवत्ता और उपज में सुधार कर सकता है।
- इसमें थर्मल विस्तार, उच्च तापमान प्रतिरोध, उच्च पहनने के प्रतिरोध, अच्छा इन्सुलेशन, अच्छी रासायनिक स्थिरता और निकट-बैंगनी (लाल) दृश्य प्रकाश प्रवेश का बेहद कम गुणांक है।
हम एंटी-ऑक्सीडेशन और लंबे जीवन काल वाले ग्रेफाइट क्रूसिबल, ग्रेफाइट मोल्ड और ग्रेफाइट हीटर के सभी हिस्से प्रदान कर सकते हैं।