अर्धविराम वेफर बोट्स सटीक-इंजीनियर सिरेमिक वाहक हैं जो अर्धचालक विनिर्माण में उच्च तापमान वेफर प्रसंस्करण के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। इसकी बेजोड़ सामग्री शुद्धता, उन्नत निर्माण प्रौद्योगिकी, और गुणवत्ता के प्रति प्रतिबद्धता के लिए अर्धविराम चुनें जो सबसे अधिक मांग वाले क्लीनरूम वातावरण में लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।*
अर्धविराम सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) से निर्मित अर्धविराम वेफर नौकाएं अर्धचालकों के निर्माण में आवश्यक घटक हैं। अर्धचालक प्रक्रियाएं जिनमें उनका उपयोग किया जाता है, उनमें आमतौर पर उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण जैसे प्रसार, ऑक्सीकरण और एलपीसीवीडी प्रक्रियाएं शामिल होती हैं। Sic वेफर नौकाओं के अनुप्रयोग को थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिरोध को अधिकतम करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जो इष्टतम पैदावार और डिवाइस प्रदर्शन के लिए प्रसंस्करण के दौरान इष्टतम समर्थन, संरेखण और सिलिकॉन वेफर्स के परिवहन की अनुमति देता है।
सिलिकॉन कार्बाइड को एक उत्कृष्ट थर्मल प्रवाहकीय सिरेमिक के रूप में अच्छी तरह से प्रलेखित किया गया है, जो एचएफ और एचसीएल जैसे रसायनों के साथ उच्च यांत्रिक शक्ति और बेहतर थर्मल शॉक प्रतिरोध, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और आक्रामक रासायनिक प्रतिरोध का प्रदर्शन करता है। एसआईसी के गुण इसे विशेष रूप से अगली पीढ़ी के अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं और उच्च तापमान वातावरण में वेफर नावों के लिए एक सामग्री के रूप में आकर्षक बनाते हैं। SIC वेफर नौकाएं> 1500 ° C की प्रक्रिया के तापमान पर संरचनात्मक अखंडता और आयामी स्थिरता बनाए रख सकती हैं, जिससे महत्वपूर्ण थर्मल उपचारों में WAFERS के युद्ध या संदूषण के जोखिम को कम किया जा सकता है।
प्रत्येक sicवेफ बोटउन्नत सिरेमिक गठन और सिंटरिंग प्रक्रियाओं का उपयोग करके उच्च-शुद्धता वाले SIC से निर्मित है, और इसे वेफर व्यास (100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी) की एक विस्तृत श्रृंखला के साथ-साथ स्टैकिंग कॉन्फ़िगरेशन के लिए सिलवाया जा सकता है चाहे वह ऊर्ध्वाधर या क्षैतिज हो। हमारी sic वेफर नौकाओं में चिकनी सतह और उत्कृष्ट सपाटता होती है जो कण पीढ़ी को कम करती है और स्वचालित वेफर हैंडलिंग सिस्टम के लिए आदर्श होती है।
संदूषण नियंत्रण और उपज आधुनिक दिन के फैब्स में सबसे महत्वपूर्ण मुद्दों में से दो हैं। Sic वेफर वाहक की स्वच्छता और निर्भरता उत्पाद की गुणवत्ता और स्थिरता प्रक्रिया प्रदर्शन को प्रभावित करती है। एसआईसी वेफर नौकाओं में उपयोग के लिए बहुत बेहतर दीर्घायु है, क्वार्ट्ज या एल्यूमिना आधारित विकल्पों की तुलना में कम रखरखाव की आवश्यकताएं और टीसीओ कम है। बेहतर दीर्घायु का मतलब माइक्रो-कण शेडिंग के साथ कम समस्याएं भी हैं, इसलिए फिर से, वेफर सतह की स्वच्छता को प्रभावित करना और स्वच्छ कमरे की सफाई को प्रभावित करना।
अर्धविराम सिस वेफर नौकाओं को डिजाइन करने और विनिर्माण पर केंद्रित है जो कम संदूषण वातावरण के साथ संयुक्त उच्चतम संभव शुद्धता कच्चे माल का उपयोग करते हैं। हम कम अशुद्धता के स्तर को बनाए रखने, कम मूल्य पर छिद्र बनाए रखने के लिए, और समान माइक्रोस्ट्रक्चर को बनाए रखने के लिए हर संभव प्रयास करते हैं ताकि टीम का काम नियमित रूप से लगातार थर्मल विशेषताओं, सटीक वेफर रिक्ति और बेजोड़ रासायनिक गिरावट प्रतिरोध का आनंद ले सके।
अर्धविराम सिसवेफर बोट्सअर्धचालकों के उच्च तापमान प्रसंस्करण का एक आवश्यक तत्व हैं। उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बिड वेफर बोट में अद्वितीय सामग्री विशेषताएं, इंजीनियर उत्कृष्टता और सूक्ष्म संदूषण-मुक्त स्वभाव हैं, उन्हें उच्च प्रदर्शन वेफर निर्माण के लिए उच्च स्तर की पसंद बनाते हैं। Semicorex आपके सबसे मिशन महत्वपूर्ण अर्धचालक प्रक्रियाओं का समर्थन करने के लिए विश्वसनीयता और अभिनव उच्च प्रदर्शन प्रदान करता है।