सेमीकंडक्टर प्रक्रिया के लिए वेफर नाव

तकनीकी गुण

अनुक्रमणिका

इकाई

कीमत

सामग्री का नाम

रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड

दबाव रहित सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड

पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड

संघटन

आरबीएसआईसी

एसएसआईसी

आर-SiC

थोक घनत्व

जी/सेमी3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

आनमनी सार्मथ्य

एमपीए (केपीएसआई)

338(49)

380(55)

80-90 (20°C) 90-100(1400°C)

सम्पीडक क्षमता

एमपीए (केपीएसआई)

1120(158)

3970(560)

> 600

कठोरता

बटन

2700

2800

/

दृढ़ता को तोड़ना

एमपीए एम1/2

4.5

4

/

ऊष्मीय चालकता

डब्ल्यू/एम.के

95

120

23

थर्मल विस्तार का गुणांक

10^-6.1/डिग्री सेल्सियस

5

4

4.7

विशिष्ट ऊष्मा

जूल/जी 0k

0.8

0.67

/

हवा में अधिकतम तापमान

℃

1200

1500

1600

लोचदार मापांक

जीपीए

360

410

240