सेमीकंडक्टर प्रक्रिया के लिए वेफर बोट

तकनीकी गुण

अनुक्रमणिका

इकाई

कीमत

सामग्री नाम

रिएक्शन निसादित सिलिकॉन कार्बाइड

दबाव रहित निसादित सिलिकॉन कार्बाइड

Recrystallized सिलिकॉन कार्बाइड

संघटन

आरबीएसआईसी

एसएसआईसी

आर-एसआईसी

थोक घनत्व

जी / सेमी 3

3

3.15 ± 0.03

2.60-2.70

आनमनी सार्मथ्य

एमपीए (केपीएसआई)

338(49)

380(55)

80-90 (20 डिग्री सेल्सियस) 90-100 (1400 डिग्री सेल्सियस)

सम्पीडक क्षमता

एमपीए (केपीएसआई)

1120(158)

3970(560)

> 600

कठोरता

नूप

2700

2800

/

तप तोड़ना

एमपीए एम 1/2

4.5

4

/

ऊष्मीय चालकता

डब्ल्यू/एम.के

95

120

23

ताप विस्तार प्रसार गुणांक

10^-6.1/डिग्री सेल्सियस

5

4

4.7

विशिष्ट ऊष्मा

जूल/जी 0k

0.8

0.67

/

हवा में अधिकतम तापमान

℃

1200

1500

1600

लोचदार मापांक

जीपीए

360

410

240