SiSiC वेफर नाव

सेमीकोरेक्स SiSiC वेफर बोट सेमीकंडक्टर में महत्वपूर्ण घटक है, यह CVD कोटिंग के साथ उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक से बना है। सेमीकोरेक्स ग्राहकों की जरूरतों के आधार पर सबसे उपयुक्त समाधान पेश कर सकता है और दुनिया भर के भागीदारों द्वारा योग्य है।*

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उत्पाद वर्णन

सेमीकंडक्टर और सौर सेल विनिर्माण के प्रतिस्पर्धी परिदृश्य में, घटक दीर्घायु के साथ थ्रूपुट को संतुलित करना आवश्यक है। हमाराSiSiC वेफर बोट को उच्च तापमान भट्टी संचालन के लिए "औद्योगिक वर्कहॉर्स" के रूप में इंजीनियर किया गया है। प्रतिक्रिया-बंधन प्रक्रिया का उपयोग करके, हम एक ऐसा वाहक प्रदान करते हैं जो पारंपरिक क्वार्ट्ज और मानक सिरेमिक की तुलना में बेहतर यांत्रिक शक्ति और थर्मल शॉक प्रतिरोध प्रदान करता है।

SiSiC का विज्ञान: प्रतिक्रिया संबंध क्यों मायने रखता है

सिंटर्ड SiC के विपरीत, जो उच्च दबाव पाउडर समेकन के माध्यम से बनता है,SiSiC वेफर नाव पिघले हुए सिलिकॉन के साथ एक झरझरा कार्बन प्रीफॉर्म को घुसपैठ करके उत्पादित किया जाता है। इस "रिएक्शन बॉन्डिंग" प्रक्रिया के परिणामस्वरूप निर्माण के दौरान लगभग शून्य संकोचन वाली सामग्री प्राप्त होती है, जो अविश्वसनीय आयामी सटीकता के साथ जटिल, बड़े पैमाने पर नाव आर्किटेक्चर के उत्पादन की अनुमति देती है।

1. सुपीरियर थर्मल शॉक प्रतिरोध

बैच प्रसंस्करण में सबसे महत्वपूर्ण चुनौतियों में से एक भट्टी का तीव्र "पुश-पुल" चक्र है। क्वार्ट्ज वाहक अक्सर थर्मल तनाव के तहत टूट जाते हैं। SiSiC में काफी अधिक टूटना मापांक (MOR) और उत्कृष्ट तापीय चालकता है। यह हमारी नौकाओं को संरचनात्मक विफलता के जोखिम के बिना तेजी से बढ़ते तापमान का सामना करने की अनुमति देता है, जिसका सीधे तौर पर कम उपकरण डाउनटाइम में अनुवाद होता है।

2. तापमान पर उच्च भार वहन क्षमता

जैसे-जैसे वेफर का आकार बढ़ता है और थ्रूपुट को अधिकतम करने के लिए बैच बड़े होते जाते हैं, वाहक पर भार बढ़ता जाता है। हमारी SiSiC नावें असाधारण रेंगना प्रतिरोध प्रदर्शित करती हैं। जबकि अन्य सामग्रियां 1,250 डिग्री सेल्सियस पर भारी भार के तहत शिथिल या विकृत हो सकती हैं, SiSiC अपनी ज्यामिति बनाए रखता है, यह सुनिश्चित करता है कि वेफर स्लॉट समानता हजारों चक्रों में सही बनी रहे।

3. रासायनिक जड़ता और सतह अखंडता

हमारी SiSiC नावें कठोर रासायनिक वातावरण के लिए डिज़ाइन की गई हैं। सामग्री एलपीसीवीडी और प्रसार प्रक्रियाओं में प्रयुक्त संक्षारक गैसों के प्रति स्वाभाविक रूप से प्रतिरोधी है। इसके अलावा, यह सुनिश्चित करने के लिए सतह का उपचार किया जाता है कि कोई "मुक्त सिलिकॉन" प्रवास न हो, एक स्थिर, स्वच्छ वातावरण प्रदान करता है जो आपके वेफर्स की विद्युत अखंडता की रक्षा करता है।

तकनीकी विशिष्टताएँ: SiSiC प्रदर्शन मैट्रिक्स

संपत्ति	SiSiC (प्रतिक्रिया बंधित)	पारंपरिक क्वार्ट्ज	औद्योगिक लाभ
अधिकतम उपयोग तापमान	1,350°C - 1,380°C	~1,100°C	उच्च प्रक्रिया लचीलापन
ऊष्मीय चालकता	> 150 डब्लू/एम·के	1.4 डब्लू/एम·के	तीव्र, एकसमान तापन
लोचदार मापांक	~330 जीपीए	~70 जीपीए	भारी भार के नीचे कोई शिथिलता नहीं
सरंध्रता	<0.1%	0%	न्यूनतम गैस अवशोषण
घनत्व	3.02 - 3.10 ग्राम/सेमी³	2.20 ग्राम/सेमी³	उच्च संरचनात्मक स्थिरता

वैश्विक विनिर्माण मानकों के लिए अनुकूलित

हमारी SiSiC वेफर नाव TEL (टोक्यो इलेक्ट्रॉन), ASM और कोकुसाई इलेक्ट्रिक सहित दुनिया की अग्रणी भट्टी OEM के साथ संगत है। हम इसके लिए अनुकूलित समाधान प्रदान करते हैं:

क्षैतिज प्रसार भट्टियां: 150 मिमी और 200 मिमी वेफर्स के लिए उच्च परिशुद्धता स्लॉटिंग वाली लंबी-लंबाई वाली नावें।

वर्टिकल फर्नेस सिस्टम: कम द्रव्यमान वाले डिज़ाइन जो गैस प्रवाह और थर्मल एकरूपता को अनुकूलित करते हैं।

सौर पीवी सेल उत्पादन: उच्च मात्रा POCl3 प्रसार के लिए डिज़ाइन किए गए विशेष SiSiC वाहक, क्वार्ट्ज की तुलना में 5-10 गुना अधिक सेवा जीवन प्रदान करते हैं।

विशेषज्ञ अंतर्दृष्टि: 1,380 डिग्री सेल्सियस से अधिक की प्रक्रियाओं के लिए, हम हमारी सिंटर्ड SiC लाइन की अनुशंसा करते हैं। हालाँकि, अधिकांश प्रसार, ऑक्सीकरण और एलपीसीवीडी चरणों के लिए, SiSiC उद्योग में सबसे अधिक लागत प्रभावी प्रदर्शन-से-जीवनकाल अनुपात प्रदान करता है।

हमारे साथ भागीदार क्यों?

सामग्री विशेषज्ञता: हम अपनी प्रतिक्रिया बॉन्डिंग प्रक्रिया के लिए केवल उच्च शुद्धता वाले अल्फा-सीआईसी पाउडर और इलेक्ट्रॉनिक-ग्रेड सिलिकॉन का स्रोत बनाते हैं।

परिशुद्धता इंजीनियरिंग: हमारी सीएनसी ग्राइंडिंग क्षमताएं ±0.02 मिमी के भीतर स्लॉट सहनशीलता की अनुमति देती हैं, जिससे वेफर कंपन और टूटना कम हो जाता है।

स्थिरता और आरओआई: क्वार्ट्ज से SiSiC पर स्विच करने पर, प्रतिस्थापन आवृत्ति में उल्लेखनीय कमी के कारण फैब्स को आम तौर पर वार्षिक उपभोग योग्य खर्च में 40% की कमी दिखाई देती है।

हम जो भी नाव भेजते हैं उसके साथ एक अनुरूपता प्रमाणपत्र (सीओसी) और एक पूर्ण आयामी निरीक्षण रिपोर्ट होती है, जो यह सुनिश्चित करती है कि आपकी प्रक्रिया किट क्लीनरूम में तत्काल स्थापना के लिए तैयार है।

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