सिलिकॉन वेफर कैरियर

सेमीकंडक्टर जमाव प्रक्रियाएं वेफर्स पर उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्मों की परत चढ़ाने के लिए अस्थिर अग्रदूत गैसों, प्लाज्मा और उच्च तापमान के संयोजन का उपयोग करती हैं। इन चुनौतीपूर्ण वातावरणों का सामना करने के लिए जमाव कक्षों और वेफर हैंडलिंग उपकरणों को टिकाऊ सिरेमिक घटकों की आवश्यकता होती है।
सेमीकोरेक्स सिलिकॉन वेफर कैरियर उच्च शुद्धता वाला सिलिकॉन कार्बाइड है, जिसमें उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध गुणों के साथ-साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता भी है।

सिलिकॉन वेफर कैरियर के पैरामीटर

एसएसआईसीसी और आरबीएसआईसीसी के बीच अंतर:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। आरबीएसआईसी को कम तापमान पर सिलिकॉन कार्बाइड में मुक्त सी को घुसपैठ करना है, एसएसआईसीसी 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन से बनता है।

2. SSiC में चिकनी सतह, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति होती है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।

3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया गया समय, SSiC, RBSiC से अधिक लंबा है

सिलिकॉन वेफर कैरियर की विशेषताएं

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को इस प्रकार डिज़ाइन किया गया है कि दरारें और प्रदूषण न हो।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के उपलब्ध आकार：

● सिरेमिक रॉड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लंजर

● सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव

● सिरेमिक रिंग / सिरेमिक वॉशर / सिरेमिक स्पेसर

● सिरेमिक डिस्क

● सिरेमिक प्लेट / सिरेमिक ब्लॉक

● सिरेमिक बॉल

● सिरेमिक पिस्टन

● सिरेमिक नोजल

● सिरेमिक क्रूसिबल

● अन्य कस्टम सिरेमिक हिस्से