सेमीकोरेक्स आपके OEM सेमी फैब्रिकेशन टूल और वेफर हैंडलिंग घटकों के लिए सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरेमिक इंजीनियर करता है। हमारे सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करती है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।
अत्यधिक उच्च शुद्धता (99.99% तक), उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध और गर्मी प्रतिरोध, और प्रतिबंधित कण घटना की विशेषता वाले सेमीकोरेक्स के सिलिकॉन कार्बाइड वेफर बोट का उपयोग संरचनात्मक घटकों और उपकरणों सहित सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण उपकरण भागों में किया जाता है।
सेमीकोरेक्स में, हम उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव के पैरामीटर
तकनीकी गुण |
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अनुक्रमणिका |
इकाई |
कीमत |
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सामग्री का नाम |
रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड |
दबाव रहित सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड |
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड |
|
संघटन |
आरबीएसआईसी |
एसएसआईसी |
आर-SiC |
|
थोक घनत्व |
जी/सेमी3 |
3 |
3.15 ± 0.03 |
2.60-2.70 |
आनमनी सार्मथ्य |
एमपीए (केपीएसआई) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
सम्पीडक क्षमता |
एमपीए (केपीएसआई) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
कठोरता |
बटन |
2700 |
2800 |
/ |
दृढ़ता को तोड़ना |
एमपीए एम1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
ऊष्मीय चालकता |
डब्ल्यू/एम.के |
95 |
120 |
23 |
थर्मल विस्तार का गुणांक |
10-6.1/डिग्री सेल्सियस |
5 |
4 |
4.7 |
विशिष्ट ऊष्मा |
जूल/जी 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
हवा में अधिकतम तापमान |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
लोचदार मापांक |
जीपीए |
360 |
410 |
240 |
एसएसआईसीसी और आरबीएसआईसीसी के बीच अंतर:
1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। आरबीएसआईसी को कम तापमान पर सिलिकॉन कार्बाइड में मुक्त सी को घुसपैठ करना है, एसएसआईसीसी 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन से बनता है।
2. SSiC में चिकनी सतह, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति होती है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।
3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया गया समय, SSiC, RBSiC से अधिक लंबा है
सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाव की विशेषताएं
बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को इस प्रकार डिज़ाइन किया गया है कि दरारें और प्रदूषण न हो।